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化工儀器網>產品展廳>半導體行業專用儀器>光刻及涂膠顯影設備>去膠機>customized 等離子清洗&去膠機

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深圳市矢量科學儀器有限公司是集半導體儀器裝備代理及技術服務的高新技術企業。

致力于提供半導體前道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導體分析測試設備、半導體光電測試儀表及相關儀器裝備維護、保養、售后技術支持及實驗室整體服務。

公司目前已授實用新型權利 29 項,軟件著作權 14 項,是創新型中小企業、科技型中小企業、規模以上工業企業。










冷熱臺,快速退火爐,光刻機,納米壓印、磁控濺射,電子束蒸發

1. 產品參數

80 kHz:功率 1000 或 3000 W

13.56 MHz:功率 0 - 300 W;0 - 600 W;0 - 1000 W

2.45Hz:功率 0 - 1200 W

所有發生器均為 0 - 100% 無可調型

圓形不銹鋼,帶鉸鏈的門(約 φ400 mm,長 625 mm)

矩形不銹鋼,帶鉸鏈的門(約寬 400 mm x 高 400 mm x 深 625 mm)

2. 用途

材料清洗

材料活化

材料刻蝕

材料涂覆

3. 公司介紹

深圳市矢量科學儀器有限公司是集半導體儀器裝備代理及技術服務的國家高新技術企業。

致力于提供半導體制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導體分析測試設備、半導體光電測試儀表及相關儀器裝備維護、保養、售后技術支持及實驗室整體服務。

公司已授實用新型權利 29 項,軟件著作權 14 項,是國家高新技術企業、創新型中小企業、科技型中小企業、規模以上工業企業。如有需要半導體設備和進口半導體設備的朋友歡迎電話咨詢我們!







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