E300-3T 3工位設(shè)備前段模塊
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
- 公司名稱 北京華丞電子有限公司
- 品牌
- 型號(hào)
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2025/8/1 8:16:43
- 訪問次數(shù) 42
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創(chuàng)新點(diǎn)
算法
核心部件自主開發(fā)，采用算法，保障晶圓傳輸更精準(zhǔn)。
多關(guān)節(jié)機(jī)械手
采用多關(guān)節(jié)機(jī)械手結(jié)構(gòu)，在滿足緊湊結(jié)構(gòu)的同時(shí)實(shí)現(xiàn)較大的取片距離。
應(yīng)用領(lǐng)域
半導(dǎo)體—集成電路
半導(dǎo)體—封裝
技術(shù)指標(biāo)
| 外形尺寸 | 1800mmx765mmx2432mm |
| 潔凈度 | ISO Class 1 |
| 晶圓規(guī)格 | 300mm標(biāo)準(zhǔn)晶圓（Si） |
| Load Port數(shù)量 | 3 |
| FOUP類別 | 300mm Semi標(biāo)準(zhǔn) FOUP/FOSB |
| Aligner定位精度 | ＜±0.1mm，＜±0.2° |
| Aligner持片形式 | 真空吸附式 |
| 機(jī)械手形式 | X軸移動(dòng)式+單臂機(jī)械手 |
| 機(jī)械手取片形式 | 夾持式 |
| 設(shè)備產(chǎn)能 | ≥120片/小時(shí)（WPH） |
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