臭氧屬于有害氣體，濃度為6.25×10-6mol/L(0.3mg/m3)時，對眼、鼻、喉有刺激的感覺；濃度(6.25-62.5)×10-5mol/L(3～30mg/m3)時，出現頭疼及呼吸器官局部麻痹等癥;臭氧濃度為3.125×10-4～1.25×10-3mol/L(15～60mg/m3)時,則對人體有危害。其毒性還和接觸時間有關，例如長期接觸1.748×10-7mol/L(4ppm)以下的臭氧會引起性心臟障礙，但接觸20ppm以下的臭氧不超過2h，對人體無性危害。因此，臭氧濃度的允許值定為4.46×10-9mol/L(0.1ppm)8h.由于臭氧的臭味很濃，濃度為4.46×10-9mol/L(0.1ppm)時，人們就感覺的到。
手持式臭氧檢測儀
原理
研究表明臭氧僅對波長253.7nm的紫外線具有最大吸收系數，在此波長下紫外線通過臭氧會產生衰減，符合蘭波特——比爾定律。該方法已被美國等國家作為臭氧標準分析方法。該臭氧檢測儀就是采用紫外線吸收法的原理，用穩定的紫外燈光源產生紫外線，用光波過濾器過濾掉其它波長紫外光，只允許波長253.7nm通過。經過樣品光電傳感器，再經過臭氧吸收池后，到達采樣光電傳感器。通過樣品光電傳感器和采樣光電傳感器電信號比較，再經過數學模型的計算，就能得出臭氧濃度大小。
校準方法
校準儀器校準：采用紫外光法臭氧檢測儀對已生產的臭氧檢測儀進行分布選取10個測試點對比，誤差范圍控制在+1%以內為合格。
化學滴定法：化學方法即碘化鉀、硫代硫酸鈉滴定法來檢測臭氧濃度。我們也分布選取10個測試點，然后用臭氧檢測儀與化學滴定法測試的10個點進行對比，誤差范圍控制在+1%以內。碘化鉀滴定法原理是用強氧化劑臭氧與碘化鉀反應,使碘游離出來到水里，水就會變為茶色。（反應式：O3+2KI+H2OO2+I2+KOH）利用硫代硫酸鈉標準液滴定，使游離碘變為碘化鈉，反應終點為水*褪色。（反應式：I2+2Na2S2O32NaI+Na2S4O6）
臭氧濃度：C=(Ana×B×2400)/V0單位(mg/l)
(注釋：Ana----硫代硫酸鈉標準溶液用量ml；B---硫代硫酸鈉標準溶液濃度mol/l；V0-----臭氧氧化其他取樣體積ml)
應用
1、臭氧制備車間（臭氧發生器、臭氧廠房等）
2、化工、石油、造紙、紡織、制藥和香精香料工業（化工氧化中氧化劑、催化劑和精制劑）
3、水處理（大型自來水廠、化工污水、中水回用、印染污水、水務工程、二次供水、市政污水、工業廢水、制藥廢水、石油廢水、電鍍廢水深度處理、食品行業、
4、食品、制藥行業（大型加工車間空氣滅菌）
5、臭氧制備車間（臭氧發生器、臭氧廠房等）
6、臭氧殺菌時O3濃度分析控制
7、化工氧化車間氣體檢測
8、臭氧制備、臭氧發生器等環境濃度分析
9、食品醫藥滅菌車間
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