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韓國Line Tech氣體質量流量控制器

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具體成交價以合同協議為準
  • 型號 M30系列
  • 品牌
  • 廠商性質 經銷商
  • 所在地 北京市
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更新時間:2017-12-26 15:28:53瀏覽次數:2535

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產品簡介

韓國Line Tech氣體質量流量控制器MFC為Mass Flow Controller的縮寫。能夠在較大的量程范圍內對氣體的質量流量進行精密測量和控制。

詳細介紹

韓國LINE TECH M30系列氣體質量流量控制器廣泛應用于:真空鍍膜設備、光電產業到工業工具的表面鍍膜、SPUTTER磁控濺射臺、PVDCVDMOCVD、氧化、等離子刻蝕、離子注入,直拉式晶爐,精密半導體、燃料電池、氣調儲存保鮮相關設備、生物反應器、生物過程控制器、大學實驗室、研究所、食品及制藥產業、醫療設備、氣相色譜儀等相關行業。

韓國LINE TECH M30系列氣體質量流量控制器主要參數:

流量范圍:               0.005-125(slpm)

響應時間:               ≤2

精    度:        ≤1%

重 復 性:        ±0.25

輸出信號:        0-5vdc或4-20mA

供電電壓:        15-28vdc

溫度范圍:        0-50℃

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