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技術文章
手動探針臺的操作使用方式概述
點擊次數：597 發布時間：2024-2-27
手動探針臺是一種手動控制的探針臺，通常用于沒有很多待測器件需要測量或數據需要收集的情況下。該類探針臺的優點是靈活、可變性高，易于配置環境和轉換測試環境，并且不需要涉及額外培訓和設置時間的電子設備、PC或軟件。手動探針臺系統只需要少量的培訓，因此非常適合研發人員使用。
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1.將樣品載入真空卡盤，開啟真空閥門控制開關，使樣品安全且牢固地吸附在卡盤上。
2.使用卡盤X軸/Y軸控制旋鈕移動卡盤平臺，在顯微鏡低倍物鏡聚焦下看清楚樣品。
3.使用卡盤X軸/Y軸控制旋鈕移動卡盤平臺將樣品待測試點移動至顯微鏡下。
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4.顯微鏡切換為高倍率物鏡，在大倍率下找到待測點，再微調顯微鏡聚焦和樣品x-y，將影像調節清晰,帶測點在顯微鏡視場中心。
5.待測點位置確認好后,再調節探針座的位置,將探針裝上后可眼觀先將探針移到接近待測點的位置旁邊,再使用探針座X-Y-Z三個微調旋鈕,慢慢的將探針移至被測點,此時動作要小心且緩慢，以防動作過大誤傷芯片，當探針針尖懸空于被測點上空時，可先用Y軸旋鈕將探針退后少許，再使用Z軸旋鈕進行下針，最后則使用X軸旋鈕左右滑動，觀察是否有少許劃痕，證明是否已經接觸。
6.確保針尖和被測點接觸良好后，則可以通過連接的測試設備開始測試。
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