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SMC減壓閥（壓力調節器）的分類
閱讀：499 發布時間：2023-1-30減壓閥（壓力調節器） 高純度工藝氣體用 AP/SL/AP/AZ
產品特點?適合半導體等需要供給高潔凈度氣體的行業。
?主體材質為SUS316L二次熔煉或SUS316L。
?接觸氣體部分經過電解研磨處理。
?外部金屬密封構造。
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安全注意事項 工藝氣體用元件/共通注意事項 擴展品
推薦型號 技術資料/用語解說
推薦型號 技術資料/用語解說
| 系列 | 形式 | 用途 | 主體材質 | 配管連接 | 配管尺寸 |
|---|---|---|---|---|---|
| AP/SL | 一段式 | 管路用（小型） | SUS316L 二次熔煉 | 面密封接頭 管焊接 | 1/4''，3/8'' |
| AP/SL | 一段式 | 管路用 | SUS316L 二次熔煉 | 面密封接頭 管焊接 | 1/4''，3/8'' 1/2''，3/4'' |
| AP/SL | 一段式 | 大宗氣體用 | SUS316L | 面密封接頭 管焊接 | 1/2''，3/4''，1'' |
| AP/SL | 一段式 | 一次側高壓用 | SUS316L 二次熔煉 | 面密封接頭 管焊接 | 1/4''，3/8'' 1/2''，3/4'' |
| AP/SL | 一段式 | 負壓調節 | SUS316L 二次熔煉 | 面密封接頭 管焊接 | 1/4''，3/8'' 1/2''，3/4'' |
| AP | 二段式 | 一次側高壓用 | SUS316L 二次熔煉 | 面密封接頭 管焊接 | 1/4''，3/8'' |
| AZ | 一段式 | 管路用 | SUS316L | 面密封接頭 管焊接 | 1/4''，3/8'' 1/2'' |
| AZ | 一段式 | 一次側高壓用 | SUS316L | 面密封接頭 管焊接 | 1/4''，3/8'' 1/2'' |
| AZ | 一段式 | 負壓調節 | SUS316L | 面密封接頭 管焊接 | 1/4''，3/8'' 1/2'' |
減壓閥（壓力調節器）／背壓閥 一般氣體用 AK/BP
產品特點?從半導體到一般行業都可使用的標準型。
?主體材質可根據流體選擇SUS316或黃銅。
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推薦型號 技術資料/用語解說
推薦型號 技術資料/用語解說
| 系列 | 型號 | 用途 | 主體材質 | 配管連接 | 配管尺寸 |
|---|---|---|---|---|---|
| AK | 一段式 | 氣路用 | SUS316 或黃銅 | NPT內螺紋 卡套式接頭 | 1/4''，3/8'' 1/2'' |
| AK | 一段式 | 一次側高壓用 | SUS316 或黃銅 | NPT內螺紋 卡套式接頭 | 1/4''，3/8'' 1/2'' |
| AK | 一段式 | 負壓調節 | SUS316 或黃銅 | NPT內螺紋 卡套式接頭 | 1/4''，3/8'' 1/2'' |
| AK | 二段式 | 一次側高壓用 | SUS316 或黃銅 | NPT內螺紋 卡套式接頭 | 1/4'' |
| BP | 背壓閥 | ― | SUS316 或黃銅 | NPT內螺紋 卡套式接頭 | 1/4'' |
膜片閥 高純度工藝氣體用 AP
產品特點?用于半導體等需要高潔凈度氣體的行業。
?可作為氣體的切斷閥使用。
?接觸氣體部分無彈簧，驅動部也使用膜片隔離，因此減小了氣路的死區，抑制了粒子的產生。
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推薦型號 技術資料/用語解說
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| 系列 | 形式 | 主體材質 | 配管連接 | 配管尺寸 |
|---|---|---|---|---|
| AP | 氣控型 | SUS316L 二次熔煉 | 面密封接頭 管焊接 | 1/4''，3/8'' 1/2''，3/4'' |
| AP | 小型 | SUS316L 二次熔煉 | 面密封接頭 管焊接 | 1/4''，3/8'' 1/2''，3/4'' |
隔膜閥 高純度工藝氣體用 AZ
?用于精密洗凈及潔凈室組裝。
?全部產品均經過了氦氣泄漏檢測。
?符合SEMI規格
?采用方便作業的鍛造主體。
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| 系列 | 形式 | 主體材質 | 配管連接 | 配管尺寸 |
|---|---|---|---|---|
| AZ | 氣控型 | SUS316L | 面密封接頭 管子焊接 | 1/4'' 3/8'' 1/2 |
| AZ | 手動型 | SUS316L | 面密封接頭 管子焊接 | 1/4'' 3/8'' 1/2 |
單向閥／真空發生器／流量開關 AP
產品特點［單向閥］
?防止背壓使流體逆流。
?構造簡單，內部的可動零部件僅為O形圈。
?采用無彈簧的構造，可減少因震顫等產生的顆粒，降低下游的壓力變動。
［真空發生器］
?真空發生器。
?用于更換氣罐時，排出配管中殘余的氣體。
［流量開關］
?檢測配管破裂等造成的過剩流量。
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| 系列 | 形式 | 主體材質 | 配管連接 | 配管尺寸 |
|---|---|---|---|---|
| AP | 單向閥 | SUS316L二次熔煉 | 面密封接頭 管子焊接 | 1/4''，3/8'' |
| AP | 真空發生器 | SUS316L | 面密封接頭 管子焊接 | 1/4''，3/8'' |
| AP | 流量開關 | SUS316L二次熔煉 SUS316L | 面密封接頭 管子焊接 | 1/2''，3/4'' |
膜片閥 一般氣體用 AK
產品特點?全系列的配管連接均可選擇Rc, R或NPT。
?從半導體到一般行業都可使用的標準型。
?可用于精密洗凈。
?降低執行器的高度，實現產品的小型、輕量化（AK3542, 4542）。
?操做通口為M5螺紋（AK3542, 4542）。
?手輪構造經過改良、實現了產品的小型、輕量化（AK3652, 4652）。
?采用有凹凸的圓形手輪，更便于操作和確認（AK3652, 4652）。
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安全注意事項 工藝氣體用元件/共通注意事項 擴展品
推薦型號 技術資料/用語解說
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| 系列 | 形式 | 主體材質 | 配管連接 | 配管尺寸 |
|---|---|---|---|---|
| AK | 氣控型 | SUS316 | 卡套式接頭 Rc, R, NPT | 1/4''，3/8'' |
| AK | 手動型 | SUS316 | 卡套式接頭 Rc, R, NPT | 1/4''，3/8'' |
減壓閥／一般氣體用 AK1000T
?從半導體到一般行業均可使用的標準型。
?產品體型小、重量輕。
質量：0.52kg、高：97.5mm。
?內部容積小，其體積存量少。
?配管擴展品
可從壓縮接頭、NPT內螺紋、Rc螺紋中選擇。
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推薦型號 技術資料/用于解說
推薦型號 技術資料/用于解說
| 系列 | 形式 | 主體材質 | 配管連接 | 配管尺寸 |
|---|---|---|---|---|
| AK1000T | 手動型 | SUS316 | 壓縮接頭 Rc, NPT | 1/4''，3/8'' |