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北京中慧天誠科技有限公司

用四探針法測量樣品的電阻率

時間:2017-11-21閱讀:548
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四探針電阻率/方阻測試儀(靈敏度:10μV) 型號: GDS/KDY-1

四探針電阻率測試儀是嚴格按照硅片電阻率測量的標準(ASTM F84)及標準設計制造,并針對目前常用的四探針電阻率測試儀存在的問題加以改進。
功能特點:
1.配有雙數字表:一塊數字表在測量顯示硅片電阻率的同時,另一塊數字表(以萬分之幾的精度)適時監測過程中的電流變化,使操作簡便,測量。
3.設有電壓表自動復零功能,當四探針頭1、4探針間未有測量電流流過時,電壓表指零,1、4探針接觸到硅片,測量電流渡過單晶時,電壓表才指示2、3探針間的電壓(即電阻率)值,避免空間雜散電波對測量的干擾。
4.流經硅片的測量電流由高度穩定(萬分之五精度)的恒流源提供,不受氣候條件的影響,整機測量精度<3%。
5.儀器采用觸點電阻低(<5mΩ)、使用壽命長的轉換開頭及繼電器(>10),在緣電阻、電流容量方面留有大的系數,提高了測試儀的性和使用壽命。
6.可加配電腦,使用軟件進行數據采集,實現自動換向測量、存儲,求平均值,zui大值、zui小值、zui大百分變化率、平均百分變化率等內容。
7.可配電動測試架,自動上下運行,使測量方便快捷。
8.四探針頭采用上的紅寶石軸套導向結構,使探針的游移率減小,測量重復性提高。
參數:
電  壓  表:0-199.99mV
靈  敏  度:10μV
輸入阻抗:1000ΜΩ
基本誤差:±(0.04-0.05%讀數+0.01%滿度)
電  阻  率:10-4—1.9×104Ω·cm
方塊電阻:10-3—1.9×105Ω/□
電流量程:10μA、100μA、1mA、10mA、100mA
備注:四探針電阻率儀標準配置為主機+手動測試架+測試探針,用戶可根據需要選配電動測試架和操作軟件以及其它規格的測試探針。

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