半導體特殊材料氣體、高純/超高純載氣壓力調節器介紹
Excellent Mega系列EX-M-20、EX-M-100（電解拋光品） | 一次壓力：20.0MPa以下/調整壓力0.1～1.0MPa、最大流量：50?、150?/min?空氣） | He泄漏值：5X10 -11 Pa·m3/秒以下 |
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Mark II系列 EX-20mkⅡ-G1、G2/EX-100mkⅡ-G1、G2 | 一次壓力：20.0MPa以下/調整壓力0.1～1.0MPa、最大流量：50?、150?/min?空氣） | He泄漏值：1X10 -9/-8 Pa·m3/秒以下 |
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| ?EX-20mkⅡ |  |
| | ?EX-100mkⅡ |  |
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TD系列EX-20-TD、EX-100-TD（適用于腐蝕性氣體，特殊內涂層） | 一次壓力：20.0MPa以下/調整壓力0.1～1.0MPa、最大流量：50?、150?/min?空氣） | He泄漏值：1X10 -9 Pa·m3/秒以下 |
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| ?EX-20-TD |  |
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優秀 PM 系列 EX-20-PM、EX-100-PM（僅限面板安裝型號） | 一次壓力：20.0MPa以下/調整壓力0.1～1.0MPa、最大流量：50?、150?/min?空氣） | He泄漏值：1X10 -9 Pa·m3/秒以下 |
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| ?EX-20-PM |  |
| | ?EX-100-PM |  |
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Excellent Mega VC系列EX-M-20-VC（電解拋光品/主體連接部分VCR1/4加工） | 一次壓力：20.0MPa以下/調整壓力0.1～1.0MPa、最大流量：50?/min?空氣） | He泄漏值：5X10 -11 Pa·m3/秒以下 |
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| ?EX-M-20-VC |  |
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Excellent Mark II/VC系列EX-20-VC（主體連接部分VCR1/4加工） | 一次壓力：20.0MPa以下/調整壓力0.1～1.0MPa、最大流量：50?/min?空氣） | He泄漏值：1X10 -9 Pa·m3/秒以下 |
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| ?EX-20-VC |  |
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