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北京儀光科技有限公司
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首頁 >> 技術文章 >> Sensofar共聚焦白光干涉儀光譜反射技術
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透明層沉積在表面上時，其反射率會變化。該系統(tǒng)獲取可見范圍內樣本的反射光譜，并與軟件計算的模擬光譜進行比較，對層厚進行修改，直到找到匹配的厚度。對于薄膜，厚度與光波長類似，我們沿著光譜獲得波浪狀的反射率響應。
主要特征
從 50 nm 到 1.5 μm 厚的透明薄膜可在不到 5 秒的時間內測得
從 50 nm 到 1.5 μm 厚的透明薄膜
不到 5 秒內采集
一個物鏡可覆蓋 整個 范圍
不同光斑大小 (3.5 μm 到 40 μm)
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