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極低溫測試:
因為晶圓在低溫大氣環境測試時，空氣中的水汽會凝結在晶圓上，會導致漏電過大或者探針無法接觸電極而使測試失敗。避免這些需要把真空腔內的水汽在測試前用泵抽走，并且保持整個測試過程泵的運轉。
產品簡介
詳細介紹
高低溫真空探針臺產品簡介：
UOTEST DCH-196 探針臺是我司自主研發的一款在高低溫環境下給樣品加載電學信號的設備。可以在真空的環境中提供 -196 度的極低溫度，在特殊材料，半導體器件等方向具有廣泛運用。
產品優勢：
? 防輻射屏和熱沉設計
? 液氮自動控制系統，液氮流量模塊和溫度控制模塊一起聯動共 同控制溫度
? 降溫速度快，常溫降至 77k<25mins，大大提高測試效率
極低溫測試:
因為晶圓在低溫大氣環境測試時，空氣中的水汽會凝結在晶圓上，會導致漏電過大或者探針無法接觸電極而使測試失敗。避免這些需要把真空腔內的水汽在測試前用泵抽走，并且保持整個測試過程泵的運轉。
高低溫真空探針臺詳細參數：
產品類型 | 低溫開循環 | 低溫閉循環 | |
型號 | DCH-196 | DCH-4 | |
外形 | 900*900*600mm | 1000*1000*600mm | |
重量 | 約100kg | 約150kg | |
電力需求 | AC220V,50~60HZ | AC380V,50~60HZ | |
腔體 | 腔體尺寸 | 8英寸，帶4英寸高紅外透射率觀察窗 | |
樣品臺尺寸 | 2英寸/4英寸 | 2英寸 | |
樣品固定方式 | 真空導熱硅脂/彈簧壓片 | ||
真空度 | 10^-4pa最高真空 | ||
接口形式 | 電信接口，真空接口，光纖接口，冷源接口等 | ||
其它 | 帶防輻射屏和熱沉設計 | ||
溫控系統 | 制冷方式 | 液氮 | 壓縮機 |
溫控范圍 | 77K~473K | 4.2K~450K | |
溫控精度 | ± 0.1度 | ||
溫度穩定性 | ± 0.1度 | ||
降溫速度 | 常溫降到77k優于25mins | 常溫降到10k優于180mins | |
控制方式 | 液氮自動流量控制 | 壓縮機控制 | |
光學系統 | 顯微鏡類型 | 體式/單筒/金相顯微鏡 | 體式/單筒顯微鏡 |
移動范圍 | 水平360度旋轉，Z軸50.8mm調焦/定制其它 | ||
真空腔觀察窗尺寸 | 2inch | 2inch | |
CCD像素 | 50W（模擬）/200W（數字）/500W（數字） | ||
探針臂 | 探針臂數量 | 最多6個 | |
X-Y-Z行程 | 50mm-25mm-25mm | ||
點針精度 | 10微米/2微米 | ||
漏電精度 | 10pA/100fA | ||
接口形式 | 三軸/SMA/K/光纖接口 | ||
探針 | 頻率范圍 | DC-67G | |
探針直接 | 1um/2um/5um/10um/20um可選 | ||
材質 | 鎢鋼，鈹銅 | ||
真空系統 | 機械泵/分子泵組/離子泵 | ||
可選附件 | 防震桌，鍍金卡盤，氣敏測試組件等 | ||
應用方向 | 高低溫真空環境下的芯片測試，材料測試，霍爾測試，電磁輸運特性等 | ||
產品特點 | 防輻射屏和熱沉設計 | ||
液氮自動控制系統，液氮流量模塊和溫度控制模塊一起聯動共同控制溫度 | |||
降溫速度快，常溫降至77k<25mins，大大提高測試效率 | |||
優測國芯電子科技（深圳）有限公司是一家致力于提供半導體和自動化設備綜合解決方案的自主創新型技術企業。我們集研發、生產、銷售和服務于一體，不僅擁有*的生產設備、加工工藝及品質檢測體系，也擁有涉及材料、物理、化學、微電子、機械等專業的技術團隊。現在主營的產品有：4寸、6寸、8寸、12寸手動探針臺、高壓大功率探針臺、真空高低溫探針臺，半自動探針臺，全自動探針臺等，可以完成I-V/C-V測試，脈沖I-V測試，RF/mmW測試，高壓、大電流測試，MEMS、光電器件等測試。專業的設計人員也可以按客戶的要求量身定制，如搭配光電流掃描成像或拉曼-瞬態熒光壽命成像系統、太陽能發生器、多普勒測試儀、積分球等，在常規探針臺功能上進行延伸拓展來滿足不同客戶的測試需求。
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