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電位滴定法測定電化學拋光液中混酸含量

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    2014年06月16日
關鍵詞
電位滴定
上傳者
瑞士萬通中國有限公司
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資料簡介

電化學拋光是指在一定電解液中金屬工件的陽極溶解,從而使其表面粗糙度下降、光亮度提高,并產生一定金屬光澤的表面光整技術。拋光液通常有酸性、中性和堿性拋光液。其中酸性拋光液有:磷酸系、硫酸系、高氯酸系、磷酸-硫酸系,以及在各系基礎上派生出的硫酸-鉻酐、磷酸-鉻酐、硫酸-磷酸-鉻酐,再配以各種添加劑而成的拋光液,如鋼鐵件和鋁件在電化學拋光時常采用H3PO4-H2SO4等構成的混合酸體系;半導體器件硅臺面的拋光,要用到H3PO4-HNO3等構成的混合酸體系。電化學拋光液中如果硫酸過多,拋光速度過快,會加快金屬基體腐蝕,磷酸較多,可在工件表面吸附一層黏膜,亮度下降,拋光速度變慢。在電槽維護方面,要求定期測定拋光液酸度、磷酸和硫酸含量,因此對于拋光液中混酸含量的檢測具有重要實用價值。目前,對于混酸的分析主要用滴定法,其中傳統的人工滴定方法需要根據指示劑顏色變化判斷終點,對操作人員的技術要求較高;利用自動電位滴定儀進行常規分析時,有操作簡單,分析準確度高等優點。本文主要利用電位滴定法,對混酸含量進行測定,為科研及生產提供了電化學拋光液中混酸組成比例的檢測方法。

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