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預算663萬 華東師范大學采購反應離子束刻蝕系統等設備
2022年03月17日 15:20:31 來源:化工儀器網 作者:吳吳吳 點擊量:5055

華東師范大學預算663.0789萬,采購反應離子束刻蝕系統和感應耦合等離子體增強化學氣相沉積系統。

  【化工儀器網 市場商機】華東師范大學成立于1951年10月16日,是由國家舉辦、教育部主管,教育部與上海市人民政府重點共建的綜合性研究型大學,1996年被列入“211工程”國家重點建設大學行列,2006年教育部和上海市決定重點共建華東師范大學,學校進入國家“985工程”高校行列。
 
  近日,華東師范大學就“華東師范大學反應離子束刻蝕系統、感應耦合等離子體增強化學氣相沉積系統項目”發布公開招標公告,預算663.0789萬,采購反應離子束刻蝕系統和感應耦合等離子體增強化學氣相沉積系統,項目情況如下。
 
  項目基本情況
 
  項目編號:0773-2240SHHW0019
 
  項目名稱:華東師范大學反應離子束刻蝕系統、感應耦合等離子體增強化學氣相沉積系統項目
 
  預算金額:663.0789000 萬元(人民幣)
 
  最高限價(如有):663.0789000 萬元(人民幣)
 
  采購需求:
 
  項目名稱:華東師范大學反應離子束刻蝕系統、感應耦合等離子體增強化學氣相沉積系統項目
 
  包件1:反應離子束刻蝕系統;
 
  數量及單位:1臺;
 
  簡要技術參數:
 
  3、等離子體源
 
  3.1、射頻發生器:最大功率300瓦,13.56MHz,帶自動匹配單元;
 
  ★3.2、ICP源發生器:最大功率3000瓦,2.0MHz,帶自動匹配單元;
 
  包件2:感應耦合等離子體增強化學氣相沉積系統;
 
  數量及單位:1臺;
 
  簡要技術參數:
 
  ★1、SiO2的標準沉積速率:≥40 nm/min;高速沉積速率:≥500 nm/min
 
  2、SiO2薄膜沉積厚度:≥6um。
 
  其余詳見本項目招標文件。
 
  合同履行期限:自合同簽訂之日起250天內;
 
  本項目( 不接受  )聯合體投標。
 
  申請人的資格要求
 
  1.滿足《中華人民共和國政府采購法》第二十二條規定;
 
  2.落實政府采購政策需滿足的資格要求:
 
  本項目為機電產品國際招標項目,相關法規與政策均按照《機電產品國際招標投標實施辦法(試行)》執行。
 
  3.本項目的特定資格要求:詳見附件。
 
  獲取招標文件
 
  時間:2022年03月17日  至 2022年03月24日,每天上午9:30至11:30,下午13:00至16:00。(北京時間,法定節假日除外)
 
  地點:上海市虹口區四平路200號盛泰國際大廈606室
 
  方式:因疫情影響,僅支持直接網上轉賬。
 
  售價:¥500.0 元,本公告包含的招標文件售價總和
 
  提交投標文件截止時間、開標時間和地點
 
  提交投標文件截止時間:2022年04月07日 09點30分(北京時間)
 
  開標時間:2022年04月07日 09點30分(北京時間)
 
  地點:上海市虹口區四平路200號盛泰國際大廈606室
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華東師范大學附件.docx

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