磨削頭

• Z軸運動，可調節角度

•可調節劃線力從10gr到250gr，恒重

•金剛石工具：可調節角度和旋轉

•刀具偏置，十字準線

•精度：±5μm

晶圓

•晶圓片直徑6''

•真空吸附

•框架/環形適配器

•電動夾頭旋轉

•夾頭旋轉對準，90度/可編程

•X Y軸/分辨率1μm; 精度±5μm

•無振動設計

•通過漸進式操縱桿控制運動

視覺系統

•光學放大倍率，與其他應用兼容

•視野：標準1mm

•TFT顯示器17''和CCD彩色高清攝像機

•目標發生器

•LED照明

參數

•步驟指數

•Y劃線速度從1到100毫米/秒

•劃線長度可編程

•重復劃線

•劃線數量

•多指數功能

•削減計數器

技術規格

功率：100 / 230VAC ，500 watt

氣壓：70psi

真空：60％

尺寸：650x700x500mm（26''x28''x20''）

重量：70kgr。