ROHS金屬成分分析儀(SXES:Soft X-Ray Emission Spectrometer)通過組合新開發的衍射光柵和高靈敏度Ｘ射線CCD相機，實現了高的能量分辨率。

　　和EDS一樣可以并行檢測，并且能以0.3eV(費米邊處Al-L基準)的高能量分辨率進行分析，超過了WDS的能量分辨率。

　　ROHS金屬成分分析儀系統簡介：最新開發設計的分光系統，不需移動衍射光柵或檢測器（CCD）就能同時獲取不同能量的譜圖。而且由于能量分辨率很高，還可以采集狀態分析分佈圖

　　SXES、WDS、EDS的比較各種分光方法中氮化鈦樣品的譜圖

　　即使在WDS分析中氮化鈦的譜峰也發生重疊，需要采取去卷積的數學方法處理。如下圖所示，SXES具有很高的能量分辨率。

　　 比較表

特征	SXES	EPMA(WDS)	EDS
分辨率	0.3 eV (費米邊處 Al-L)	8 eV (FWHM@Fe-K）	120-130 eV (FWHM@Mn-K）
化學結合狀態分析	可以	可以(主要是輕元素)	不可以
并行檢測	可以	不可以 (但分光譜儀臺數范圍即可)	可以
分光晶體和檢測器	衍射光柵＋CCD	分光晶體＋正比計數管	SDD
檢測器冷卻	珀爾帖冷卻	不需要	珀爾帖冷卻
檢測限(以B作為參考值)	20ppm	100ppm	5000ppm

　　鋰離子二次電池（LIB）分析實例

　　能觀察到LIB的充電量

　　充滿電后Li-K樣品的譜圖

　　說明:由于理論上的原因，氧化鋰的檢測很困難

　　輕元素的測試實例

　　SXES測試碳素化合物的實例

　　可以測試金剛石、石墨、聚合物的不同。

　　各種氮素化合物的測試實例氮素也可以根據波形分析化學結合狀態。硝酸鹽和氮化物的波形不同，還能觀察到易受電子束損傷的銨鹽的波形。