MKS MultiGas 6030傅里葉變換紅外氣體分析儀是以傅利葉變換紅外為基礎的多氣體光譜 分析儀。其具有ppb到ppm靈敏度。廣泛用于半導體生產工藝控制和監控，氣體純度和組成分 析，環境有毒有害氣體監視和工業尾氣監視。MultiGas 6030傅利葉變換紅外光譜分析儀能分析含有高達40%水的氣流，能同時分析和顯示多達30種氣體。分析儀儲存了校準光譜，故省出了氣體筒的成本。另外，操作者也會發現MKS MultiGas 6030傅里葉變換紅外氣體分析儀操作簡便，易于維護。 MultiGas 6030由保護的2102傅利葉變換紅外制成分光計， 高光通量取樣單元，分析軟件及獨立的定量光譜庫組成。MultiGas 6030收集高分辨率 的紅外光譜與定量光譜庫分析，提供絕大多數氣體及水蒸氣的高精度，高靈敏度測量。 

特點和優點

? 10ppb-靈敏度對于絕大多數有毒有害氣體 

? 易于移動從一處移到另一處，設置僅需幾分鐘 

? 同時分析和顯示多達30種氣體

? 分析儀儲存了校準光譜，省去了氣體筒的成本

? 取樣氣體在進入分析室前加熱并維持恒定溫度

? 保護的線性檢測器，確保所有分析儀維持在相同的校準條件下

 ? 頻率和分辨率診斷，確保校準恒定

 ? 提供自動溫度和壓力補償以確保分析精度

 ? 用戶操作簡便軟件界面，稍加培訓即可操作

應用

? 煙囪監測器 

? 工藝監測改進和優化

? 空氣環境分析 

? 氣體純度分析 

? 燃燒排放監測 

? 選擇性硅整流催化還原性能監測 

規格

分析儀主機

分析儀采樣參數

分析儀氣體室

檢測極限