X熒光無損膜層檢測儀采用X射線熒光的工作原理是，X 射線管產生初級射線照射在受檢物質時，會激發物質放射X－射線螢光輻射，特定的元素有特定的輻射信號，接收器便會記錄這些能量光譜。不需要先對樣品進行處理便能測量，樣品可直接放入測量室進行測量。無損膜層檢測儀不需要復雜、昂貴的儀器來抽真空，便能在正常的環境下測量從元素Z＝13鋁到Z＝92（鈾），固定、漿狀及液體的樣本也可以測量，即使是極小不規則形狀的測量面積也可快速、免接觸的測量。只需短短數秒鐘，所有從17號元素氯到92號元素鐳的所有元素都能準確測定.

X熒光無損膜層檢測儀可測量：
單一鍍層：Zn， Ni，Cr，Cu，Ag，Au，Sn等。

二元合金層：例如Fe上的SnPb，ZnNi和NiP合金。
三元合金層：例如Ni上的AuCdCu合金。
雙鍍層：例如Au/Ni/Cu，Cr/Ni/Cu，Au/Ag/Ni，Sn/Cu/Brass，等等。
雙鍍層，其中一個鍍層為合金層：例如Cr/NiCu/Plastic；Fe。

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