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UKSY-5 功能薄膜特性測試儀

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中慧天誠是一家集儀器表供應,技術服務,售后為一體的儀器儀表供應商。

空氣臭氧發生器;擴散氫測定儀;瓦斯蒸氣粉塵和懸浮物;汽車尾氣分析儀;煙道氣綜合分析儀;石油產品采樣器;食品檢測儀;固定式可燃氣體探測器;手持式辛烷值儀;快速水份測定儀;二氧化氯發生器;身高體重測量儀

功能薄膜特性測試儀 型號:UKSY-5 貨號:ZH9392
產品簡介
本測試儀是多用途綜合測量裝置,開展半導體材料的電阻性能的測試。由四探針測試儀和非晶硅薄膜電導率測量儀組成。四探針測試儀由主機、測試架等部分組成,測試結果由數字表頭直接顯示。主機主要由高靈敏度直流數字電壓表和高穩定度
恒流源組成。非晶硅薄膜電導率測量儀由樣品室、溫控系統、真空系統、高阻測量系統等部分組成。
測量范圍:
電阻范圍:1×106~1×1017Ω;
電 阻 率:0.001~200Ωcm
電 導 率:0.005~1000s/cm
可測晶片直徑: 200mmX200mm
探    針:碳化鎢或高速鋼
探針間距:1±0.01mm
針間緣電阻:≥1000MΩ
機械游移率:≤0.3%
本底真空度:≤10Pa
氣壓可控范圍:10~400Pa
襯底加熱 溫度:室溫~200℃

 

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