AX10FA模擬型直接熱式質量流量計 AX10FA直接熱式質量流量計

AX10FA直接熱式MFC/MFM采用熱式測量原理，直接用兩支快速反應的鎧裝傳感器測量氣體流量。由于沒有層流元件，并采用哈氏合金傳感器，
AX10FA可用于易結晶和腐蝕性的氣體測量。對低壓管道或者壓力損失小的應用，
AX10FA也同樣適用。
AX10FA直接熱式MFC/MFM與其它差壓原理的V10FC一樣，具有三路流量/壓力/溫度顯示和輸出功能。

產品應用

產品主要用于真空,鍍膜,石油化工,煤炭冶金,制氣配氣,環保及各種分析,科研院所實驗設備。

產品特點

● 直接熱式原理，無層流元件
● 無壓損,抗結晶,抗腐蝕
● 適用于各種低壓和高壓管道
● 精確測量和控制氣體的質量流量
● 預熱時間短,零漂小，可靠性高
● 多種氣體可選,也可自行輸入

技術參數

技術指標 AX10FA-RC質量流量控制器 AX10FA-RM質量流量控制器
量程范圍 小量程:5SCCM～10SLM 中量程:10SLM～30SLM 大量程:30SLM～2000SLM
控制范圍 控制器20：1 流量計20：1
 
準 確 度 流量：±3%F.S 壓力：0.5% F.S 溫度：±1℃
 
線 性 ±0.5%F.S
重復精度 ±0.2%F.S
響應時間 100ms 10ms
數 字 量 RS232/485，MODBUS協議
 
模 擬 量 0～5V、4～20mA、1～5V
 
供電 12V/24V/±15V可選
 
工作溫度 0～50℃
工作壓力 工作壓差：0.03～0.5MPa  工作壓降：<0.01Mpa
zui大耐壓 低壓1MPa，中壓3MPa，高壓10MPa
 
電氣連接 DB15孔
 
漏 率 1×10-9SccsHe
 
溫度系數 ±0.015%F.S/℃
 
底座材質 316L
 
密封材料 氟橡膠,氯丁橡膠，丁晴橡膠
 
接 頭 VCR1/4;swagelokφ6