S-4800日立掃描電子顯微鏡（SEM）

Hitachi S-4800簡介：

日本Hitachi公司生產S-4800型SEM，采用的E×B技術，可以分別收集和分離單純二次電子、混合二次電子及背散射電子的信號。配有X-射線能譜儀，可在形貌觀察的同時進行樣品成分分析。

儀器主要配置：

X射線能譜儀，離子濺射儀，真空蒸鍍儀，冷凍干燥機。

主要性能指標：

1. 二次電子分辨率：1.4nm（1kV，減速模式）；1nm（15kV）

2. 電子槍：冷場發射電子源

3. 加速電壓：0.5 ～ 30 kV

4. 放大倍數：×20 ～ ×800,000

5. 探測器：低位/高位二次電子探測器

應用領域：

主要用于生物體、高分子、無機非金屬、金屬材料等樣品的表面形貌觀察及元素成分分析。廣泛應用于生物、能源、材料、化工、環境等研究領域。

操作規范

一、 開機前準備

 1.1  制備樣品（帶口罩與手套進行）  SEM樣品制備相對簡單，原則上只要能放入樣品室的樣品，都可進行觀察。

但需注意以下事項：

 a) 樣品在物理上和化學上必須要保持穩定，在真空中和電子束轟擊下不揮發或變形， 沒有腐蝕性和放射性。（通常是干燥固體。）

 b) 由于光源是電子，樣品必須導電，非導電樣品可噴鍍金膜。金膜在一定程度上會影 響樣品原有形貌。（若樣品本身導電，襯底不導電，如藍寶石上的ZnO，只需用導電膠把樣品表面連到樣品臺。）

 c)  由于物鏡有強磁性，帶有磁性的樣品制樣必須非常小心，防止在強磁場中樣品被吸入物鏡或分散在樣品室中。通常磁性樣品必須退磁，且工作距離（WD）須大于8mm。

  具體操作過程：  

(1) 按待測樣品數量選擇樣品臺，（支持直徑d=5mm,15mm,1 inch,2 inch等規格，若要觀測截面可選擇帶角度的樣品臺）。 

(2) 剪一小段導電膠，粘到樣品臺上。若樣品為粉末，則把粉末撒到導電膠上，用吸耳球或高壓氮氣吹掃掉導電膠上未粘緊的粉末；若是塊狀樣品，則把樣品牢牢粘到導電膠上，用手輕輕推，樣品不會左右晃動。（為觀測時方便定位，將樣品排列成行（或列），并在行下方（或列左側）標上數字編號。） 

(3) 樣品粘貼完成后，用吸耳球或高壓氮氣吹掃掉樣品臺上的粉末、灰塵、水珠、唾沫等（會影響照片質量，甚至使真空度下降而無法加高壓，*認真執行。） 

1.2 查看真空度  打開前面板蓋，點擊MODE按鈕直至IP1指示燈閃，在登記表記下MULT INDICATOR數碼顯示管的讀數，同理讀取IP2，IP3并記錄。確認IP1<2E-7，IP2<2E-6，IP3<5E-5。（通常情況都是IP1顯示0E-8，IP2顯示0E-8，IP3顯示0E-8或aE-7,1<a<9。）