半導體工業超純水設備
- 公司名稱 北京碧麗康源環保科技有限公司
- 品牌
- 型號
- 產地 北京
- 廠商性質 生產廠家
- 更新時間 2018/5/16 11:15:22
- 訪問次數 308
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設備介紹:
半導體、集成電路芯片及封裝、液晶顯示、高精度線路板、光電器件、各種電子器件、微電子工業、大規模、超大規模集成電路需用大量的高純水、超純水清洗半成品、成品。集成電路的集成度越高,對水質的要求也越高。目前我國電子工業部把電子級水質技術分為五個行業標準,分別為18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm,以區分不同水質。
工藝流程:
設備新工藝一:
原水(設有壓力保護)→增壓泵→砂過濾器→炭過濾器→軟化器(根據地區不合選用)→緊密過濾器(或稱保安過濾器)→兩頭水箱→RO前水泵→緊密過濾器(或稱保安過濾器)→RO高壓泵→RO反滲透系統→RO水箱→RO水增壓泵→混床→終端緊密過濾→UV紫外線殺菌→設備用水(水質可以達到15MΩ.cm以上即0.066μs/ ㎝以下,25 ℃)工業(又稱超純水機、超純水設備等)/半導體用超純去離子水(指除去了呈離子方式雜質后的純水)
設備新工藝二:
原水(設有壓力保護)→增壓泵(一用一備)→砂過濾器→炭過濾器→軟化器(根據地區不合選用)→緊密過濾器(或稱保安過濾器)→兩頭水箱→RO前水泵→緊密過濾器(或稱保安過濾器)→RO高壓泵→RO反滲透系統→RO水箱→RO水增壓泵→普通混床→拋光混床→終端緊密過濾→UV紫外線殺菌→設備用水(水質可以達到18MΩ.cm以上即0.056μs/ ㎝以下,25 ℃)
應用領域:
電解電容器生產鋁箔及工作件的清洗;
電子管生產、顯像管和陰極射線管生產配料用純水;
黑白顯像管熒光屏生產、玻殼清洗、沉淀、濕潤、洗膜、管頸清洗用純水;
生產液晶顯示器的屏面需用純水清洗和用純水配液;
晶體管生產中純水主要用于清洗硅片;
集成電路生產中高純水清洗硅片;
半導體材料、器件、印刷電路板和集成電路用純水;
半導體材料、晶元材料生產、加工、清洗;
高品質顯像管、螢光粉生產;
汽車、家電表面拋光處理。