微電子氫氮混合配比器半導體氮氫混合氣體配比柜全自動氣體混合器設備工作原理；

        1.采用進口質量流量控制器控制器氣體的體積流量進行二元的混合配比，同時配備氫氣分析儀在線監測混合氣體的單一或多元氣體濃度，保證配比比例,混合氣體的比例在氫氣分析儀分析的zui大范圍內可以隨意設定，調節簡單、方便、直觀。

      2、控制方式

         采用編程器與觸摸屏控制，實時顯示配比流程、配比比例、工作壓力、報警參數等信息，使操作變的簡易明了。控制采用程序控制器與質量流量控制器做通訊控制，保證了配比的精度，同時設備設手動操作顯示儀，可手動調節配比的比例。

微電子氫氮混合配比器半導體氮氫混合氣體配比柜全自動氣體混合器主要技術指標；

1、  原料氣

     氮氣壓力                ≤1,6Mpa       

     氫氣壓力                ≤1.6Mpa

2、  工作壓力                ≤1.6MPa

3、  混合氣流量              ≥10NM3/h

     混合氣含氫量            0-20%可調

           混合氣壓力              ≤1.6MPa

           混合氣精度              ±1.%

        4、  裝機功率                200W                         

        5、  電源                    220V、50HZ

        6、  設備重量                約150Kg

        7，  外型尺寸                700×600×1400mm

        8、  設備顏色                米白色

設備主要組成及功能；

1，質量流量控制器（美國艾麗凱特）；是本系統的控制機構，其動作直接受執行機構控制。是氫氣、氮氣混合配比的關鍵部件。

2，氫分儀（北京儀表）；是本設備的檢測機構(小流量計是氫分儀的流量控制器)，顯示配比氣中的氫百分比含量，并把氫百分比含量轉換成4-20mA的電流信號。

3，智能顯示調節儀（愛麗凱特）；是設備的控制器，把氫分儀的電流信號與設定值比較計算，計算結果轉換成執行器需要的4-20mA的電流信號。智能顯示調節儀有混合氣濃度報警輸出.

4，混合罐（304）；把氫氣、氮氣混合配比并做小型緩沖作用。

5，配比流量計；把混合配比氣的使用實時流量顯示出來。

6，壓力控制器；對氮氣壓力有報警輸出，并關閉氫氣進口，保證工作點氫氣濃度不會超標。

四、 工藝流程；

工藝流程及控制方法

1.采用進口質量流量控制器控制器氣體的體積流量進行二元或三元氣體的混合配

比，在設備高精度工作的同時，保證設備運行的可靠性和配比穩定性。（三元氣體  以相應標準氣體做同比例標定，實測氣體顯示數據做依據做比對數據檢測或聯機色譜儀在線監測微調質量流量計設備參數，使其zui終混配比例在0.1%以內，具體數據以色譜儀或氣體分析儀的分辨率為基準）

2、控制方式

         采用PLC與觸摸屏控制，實時顯示配比流程、配比比例、工作壓力、報

         警參數等信息，使操作變的簡易明了。控制采用PLC與質量流量控制器做通訊控 

         制，保證了配比的精度，同時設備設手動操作顯示儀，可手動調節配比的比例。

氫氮混合氣檢漏技術是一種低成本、高效率、高精度的檢漏方式。氫氮混合氣檢漏原理：
金屬氫化物薄膜僅僅對氫原子具有滲透性。當加熱金屬表面時，氫分子分離成原子被薄膜吸附，吸附的氫原子產生了一個小的電壓，經放大器放大并被輸送到指示器