產品詳情

• 主機特性：

• 操作環境：采用直觀的點擊式 Windows 操作環境，方便用戶操作，加速并簡化數據獲取過程。

• 分辨率擴展：配備遠端前置放大器，可將源測量單元（SMU）的分辨率擴展至 0.1fA。

• 測量功能：具備新型脈沖與脈沖式 I - V 功能，集成了示波與脈沖測量功能的示波卡，可進行高級半導體測試。

• 數據處理：內置 PC，提供快速的測試設置、強大的數據分析、制圖與打印功能，還擁有大容量存儲器，可存儲大量測試結果。

• 軟件界面：具有瀏覽器風格的軟件界面，可根據器件類型安排測試，能執行多項測試并提供測試序列與循環控制功能。

• 可靠性測試：內置了 Stress/Measure、循環和數據分析功能，通過鼠標點擊方式可進行可靠性測試，支持 5 個 JEDEC 規范的樣品測試。

• 兼容性：支持 Keithley 590 型與 Agilent 4284/4294 型 C - V 儀、Keithley 開關矩陣與 Agilent 81110 脈沖發生器等多種外圍設備。硬件由 Keithley 交互式測試環境（KITE）控制，可用于外接儀表控制與測試平臺集成。還包括驅動軟件，支持 Cascade Microtech Summit 12K 系列等多種探針臺。

• 4210 - CVU 模塊特性：

• 測量參數：用于獲取 C - V 曲線，可測量 Cp - G，Cp - D，Cs - Rs，Cs - D，R - jx，Z - theta 等參數。

• 頻率范圍：測試信號頻率范圍為 1kHz 至 10MHz，頻率精度 ±0.1%。

• 信號輸出：信號輸出電平范圍 10mV 至 100mV，直流偏置 ±30V，差分模式最大輸出 60V。

• 電容測量范圍：電容測量范圍為 1pF 至 1μF。

• 整體技術指標：

• I - V 測量：I - V 源測量單元電壓范圍可達 ±210V，電流范圍根據模塊不同可為 100mA（中功率模塊）或 1A（高功率模塊），分辨率可達 100fA，選配前端放大器可提升至 0.1fA，支持四象限操作。

• 脈沖式 I - V 測量：脈沖電壓為 ±40V（80Vp - p），脈沖電流為 ±800mA，采樣率 200MSa/s，分辨率 5ns，支持多電平脈沖瞬態波形捕獲。