拋光液拋光綜合了化學和機械拋光的優勢:
單純的化學拋光:拋光速率較快、表面光潔度高、損傷低,但表面平整度和平行度差,拋光后表面*性差;
單純的機械拋光:表面*性好、表面平整度和平行度高,但表面光潔度差、損傷層深。拋光液拋光可以獲得較為*的表面,又可以得到較高的拋光速率,得到的平整度比其他方法高,是目前能夠實現全局平面化的有效方法。
拋光膏和拋光粉的差別在于:拋光膏除開本身含有該粒度的優質拋光粉作為磨料以外,還含有濕潤劑、表面活性劑、分散穩定劑和調整劑等配置而成。拋光膏集物理和化學原理于一身,效能比拋光粉相對更優異。
拋光膏和拋光液的差別在于:拋光膏是粘度類似于牙膏狀的膏體,而拋光液是粘度類似于植物油狀的液體。拋光液相比拋光膏的流動性更好!
拋光液的主要產品可以按主要成分的不同分為以下幾大類:金剛石拋光液(多晶金剛石拋光液、單晶金剛石拋光液)、氧化鋁拋光液、氧化鈰拋光液、氧化硅拋光液(即CMP拋光液)、氧化鉻拋光液和碳化硅拋光液等幾類。
氧化硅拋光液的特性如下:
我司氧化硅拋光液是以高純納米氧化硅粉體為原料,再配以濕潤劑、表面活性劑、分散穩定劑和調整劑生產的一種高純度低金屬離子型拋光產品,具有應用領域廣、拋光效率高、雜質含量低、拋光后容易清洗等特點。
該拋光液廣泛用于多種材料納米級的高平坦化拋光,如:硅晶圓片、鍺片、砷化鎵、磷化銦、光學晶體、藍寶石、化合物晶體、精密光學器件等的拋光加工。
產品粒度有W0.05 @ 包裝200毫升/瓶和500毫升。
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