21V系列帶集成截止閥氣體質量流量控制器
- 公司名稱 北京朗潤達科貿有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號
- 產地 美國
- 廠商性質 代理商
- 更新時間 2020/11/3 13:03:08
- 訪問次數 1173
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朗潤達公司提供的產品類型為差壓表、壓力表、差壓開關、壓力開關、差壓變送器、壓力變送器、流量計、流量開關、流量監視、流量變送器、質量流量計、質量流量控制器、液位開關、液位變送器、風速變送器、手持式風速計、皮托管,溫濕度計、溫度開關、溫度數據記錄、測試儀器、數據記錄儀、閥門等三千多種產品,它們廣泛應用于工業自動化、暖通空調、樓宇自控、電廠、石油、化工、水處理,鍋爐、壓縮機、冷凍制冷設備、食品、醫藥、輕工業、環保、潔凈工程、微電子、半導體和集成電路、真空、鍍膜、科學實驗儀器、實驗室、等領域。
供貨周期 | 一個月以上 | 應用領域 | 醫療衛生,環保,化工,生物產業,石油 |
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21V系列帶集成截止閥氣體質量流量控制器
采用內部補償型層流壓差技術,使得大流量范圍下氣體仍舊保持層流運動。內置的絕壓和溫度傳感器充分補償因壓力和溫度引起的體積流量與質量流量間的差異,并對用戶標準工況進行修正。所有Alicat質量流量控制器均具有NIST可溯源校準證書。Alicat的21V系列數字式質量流量控制器是專為需要緊密關閉應用而設計的,如真空鍍膜和濺射過程等。該集成氣動切斷閥是常閉的,并且在閉合狀態下其max大氦氣泄漏率僅為1x10 atm scc/s。
產品特點 :
● 數字化產品
● 帶氣動截止閥,泄漏率低
● 多參數顯示和輸出:溫度、壓力、流量等
● 多參數控制:體積流量、質量流量和壓力
● 標配三種控制方式:數字、模擬和本地面板
● 可選高精度:可優于0.5%
● 高量程比 200:1
● 響應時間快 僅需100ms(可調)
● 內置98種氣體
● 可現場標定混合氣體(至多5種成分),并存儲20種混合氣
21V系列帶集成截止閥氣體質量流量控制器
技術參數 :
介質要求:非腐蝕性、潔凈、干燥的氣體
介質種類:內置了98種氣體,請參考“產品資料下載”中氣體兼容表
一臺設備內置所有氣體,用戶可現場選擇
量程:從0-0.5SCCM 到 0-20SLPM
量程比:200:1
max大顯示流量:102.4%FS
顯示屏:帶按鍵,標準為LCD顯示屏,可選TFT彩色顯示屏
顯示方式:同時顯示質量流量、體積流量、壓力、溫度
精度:± (0.8%RD+0.2%FS),RD-讀數 FS-雙向滿量程
高精度:±(0.4%RD + 0.2%FS),選配
僅適用于量程為5SCCM-500SLPM的設備
閥門泄漏率:不超過1x10 atm scc/sec (He)
重復性:± 0.2% FS
零點漂移&滿量程漂移:0.02% FS / ºC / Atm
響應時間:100ms(可調) 預熱時間:<1s
標定工況:25ºC & 100kPa 絕壓、20ºC & 100kPa 絕壓、0ºC & 100kPa 絕壓 (三種工況現場可切換)
工作溫度:-10 ~ +50 ºC
工作濕度:0-100%,無冷凝
標準max大工作壓力:1MPa 表壓
標準極限耐壓:1.2MPa 表壓
中壓選項:2MPa
數字輸入/輸出信號:RS232或RS485或Modbus或Profibus*
模擬輸入/輸出信號:0-5Vdc或1-5Vdc或0-10Vdc或4-20mA可選第二路模擬輸出:質量流量或體積流量或壓力或溫度
供電電壓:7-30 Vdc (如選4-20 mA輸出,須為15-30 Vdc)
供電電流:250mA ~ 750mA
電氣接口:8針Mini-DIN或DB9或DB15或6針工業接頭
材質:316L,303&302不銹鋼,Viton,硅膠RTV,玻璃增強尼龍
鋁 ,黃銅,430FR 不銹鋼, 硅,玻璃, PCTFE
安裝方式:對位置無要求 防護等級:IP40
* 如選Profibus,則無模擬信號,無顯示,其供電電壓及
供電電流需咨詢我們
產品選型 :
應用及案例 :
● 大學/研究所
● 真空行業及鍍膜
● 半導體
● 光伏
● 過程工藝氣體測量
認證證書 :