上海洪柯自動化儀表有限公司所生產的氣體質量流量計MFM/氣體質量流量控制器MFC/氣體微流量流量計流量控制器/小流量氣體流量計流量控制器/帶控制功能的氣體流量計/分體型氣體質量流量控制器/帶調節功能的氣體質量流量計/一體化顯示氣體質量流量計/數字式液晶顯示氣體質量流量計流量控制器/高壓氣體質量流量計流量控制器/耐溫100℃分體型氣體質量流量計//高溫型氣體質量流量控制器/高溫型氣體質量流量計/耐溫100度/小流量氣體流量計/微流量氣體流量計/小流量氣體質量流量計/微流量氣體質量流量計/微流量氣體流量控制器/高壓氣體質量流量計/高壓氣體質量流量控制器/高壓氣體流量計/高壓氣體流量控制儀/高壓流量控制儀

上海洪柯自動化儀表有限公司推出的D系列氣體質量流量計（Mass flow meter，簡稱MFM）/氣體質量流量控制器（Mass Flow Controller，簡稱MFC）用于測量/控制微小流量氣體流量。微流量氣體流量計/控制器小量程為0-2SCCM(標準毫升每分鐘)，大量程為0-2000SLM(標準升每分鐘)，具有精度高、重復性好、量程寬、穩定可靠等特點，在半導體集成電路、特種材料、石化、醫藥、真空等領域,廣泛用于鍍膜設備、光纖熔煉、微反應裝置、混氣配氣系統、氣體采樣、毛細管測量、氣相色譜儀及其它分析儀器，也可以用在各類實驗室作為流量檢驗的標準流量計。

氣體質量流量計MFM/氣體質量流量控制器MFC工作原理
氣體質量流量計MFM由傳感器、分流器、主通道及電路板等構成，用于測量潔凈氣體流量。
氣體質量控制器MFC除了具有與MFM類似的各個部件外，還有一個流量調節閥及PID控制電路，它不但可以測量氣體流量，還可以控制氣體流量。
氣體通過質量流量控制器（質量流量計）時，大部分氣體通過分流器，小部分氣體流過流量傳感器。流量傳感器采用毛細管傳熱溫差量熱法原理直接測量氣體的質量流量，并將流量傳感器加熱電橋測得的流量信號送入放大器進行線性化處理，輸出與瞬時流量成正比的電壓信號0-5VDC。放大后的流量檢測電壓與設定電壓進行比較，再將比較后的差值電壓放大后去驅動控制閥門，PID閉環控制，使流過通道的氣體流量與設定的氣體流量相等。
在氣體壓力、溫度變化的情況下，氣體質量流量計（氣體質量流量控制器）能精確測量（控制）氣體流量。
因為氣體質量流量計MFM/氣體質量流量控制器MFC測得的是氣體的質量流量而不是體積流量，其質量流量單位通常表示為SCCM（標準毫升每分鐘）或SLM（標準升每分鐘）。