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| 背散射電子圖像分辨率 | 10nm | 二次電子圖象分辨率 | 10nmnm |
|---|---|---|---|
| 放大倍數 | 10-100000x | 加速電壓 | 5,10,15kV |
| 價格區間 | 100萬-150萬 | 儀器種類 | 鎢燈絲 |
1、 臺式設計，不需要冷卻循環水，放置在桌面操作。
2、 操作簡單，Windows操作系統，開機時間僅為3分鐘；
3、 可獲得景深大、立體感好的電鏡圖像；
4、 光學放大倍率（非數碼放大）：15～10萬倍
5、 加速電壓：EDX、15KV、10KV、5KV
6、 低真空觀察模式：標準模式/減輕放電模式
7、 樣品移動范圍：X：±17.5mm、Y：±17.5mm
8、 大樣品尺寸：80mm（直徑）
9、 大樣品厚度：50mm；
10、 電子槍：配置預對中鎢燈絲（Centered cartridge filament）
11、 電位移范圍：±50 μm （工作距離為4.5mm時）
12、 檢測器：標配高靈敏度4分割半導體背散射電子檢測器
13、 圖像模式：可在低真空下觀察成分像、形貌像
14、 圖像數據保存：PC附屬硬盤
15、 圖像儲存象素：640×480像素、1280×960像素
16、 圖像格式：BMP、TIFF、JPEG
17、 數據顯示：微標尺、微米值、日期時間、圖像號碼及注釋
18、 真空系統（真空泵）：渦輪分子泵1臺：30L/S；隔膜泵1臺：1m3/h
19、 安全裝置：帶過流保護功能
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