化學(xué)式粒子計(jì)數(shù)器

端的微電子工藝需要非常潔凈的工藝化學(xué)品，該粒子計(jì)數(shù)器需要經(jīng)過高度過濾，適用于≤20nm的粒子。 PMS Chem 20化學(xué)式粒子計(jì)數(shù)器具有20 nm的粒子靈敏度，是目前靈敏度高的高純度工藝化學(xué)品粒子傳感器。

來自化學(xué)品輸送和包裝系統(tǒng)的廣泛數(shù)據(jù)證明，與其競(jìng)爭(zhēng)產(chǎn)品相比，具有20nm靈敏度的PMS Chem 20傳感器統(tǒng)計(jì)出的顆粒濃度較大，數(shù)據(jù)具有統(tǒng)計(jì)意義。

化學(xué)式粒子計(jì)數(shù)器

性質(zhì)

• *的激光光學(xué)和檢測(cè)器使檢測(cè)化學(xué)物質(zhì)的靈敏度達(dá)到20 nm
• 車載化學(xué)流量計(jì)用于設(shè)定樣品流量
• *個(gè)能針對(duì)低和高折射率化學(xué)品進(jìn)行優(yōu)化的顆粒計(jì)數(shù)器，以提高產(chǎn)品性能：
  Chem 20傳感器，用于具有較低折射率的化學(xué)品
  Chem 20-HI傳感器，適用于硫酸和其他高指數(shù)化學(xué)品
• 內(nèi)部泄漏檢測(cè)會(huì)在內(nèi)部化學(xué)品泄漏時(shí)提供報(bào)警
• 低流量檢測(cè)器和報(bào)警器，以確保數(shù)據(jù)*
• 宏觀氣泡探測(cè)器用于保護(hù)傳感器性能
• 本地?cái)?shù)據(jù)顯示

優(yōu)點(diǎn)

• 實(shí)時(shí)檢測(cè)20 nm PSL和9 nm Au微粒
• 檢測(cè)影響良率的粒子（競(jìng)爭(zhēng)技術(shù)無法達(dá)到）
• 在掃描表面或得到數(shù)據(jù)之前，快速響應(yīng)粒子偏移
• 優(yōu)化化學(xué)品輸送系統(tǒng)，覆蓋從裝卸碼頭到加工點(diǎn)的整個(gè)過程
• 改善樣本的數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)，加強(qiáng)過程工藝控制
• 針對(duì)不同潔凈度的產(chǎn)品，使用兩種視圖模式優(yōu)化儀器操作，拓展產(chǎn)品應(yīng)用空間
• 傳統(tǒng)數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)能夠靈活通信

應(yīng)用

• 化學(xué)輸送系統(tǒng)內(nèi)的實(shí)時(shí)粒子監(jiān)測(cè)
• 流程監(jiān)控點(diǎn)
• 化學(xué)包裝操作監(jiān)控
• 化學(xué)過濾器性能和效率描述
• 化學(xué)處理部件的性能測(cè)試