iH600 iH1000 英國愛德華晶圓半導體iH600干式真空泵維修
| 參考價 | ￥ 450000 |
| 訂貨量 | ≥1 |
具體成交價以合同協議為準
- 公司名稱 昆山熙日機械設備有限公司
- 品牌 Edwards/英國愛德華
- 型號 iH600 iH1000
- 產地 英國
- 廠商性質 其他
- 更新時間 2019/3/25 9:44:41
- 訪問次數 4503
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| 泵軸位置 | 其他 | 抽氣速率 | 150l/s |
|---|---|---|---|
| 功率 | 6.1kW | 極限壓力 | 0.7pa |
| 流量 | 600m3/h | 排出口徑 | NW40mm |
| 輸送介質 | 其他 | 葉輪數目 | 其他 |
| 重量 | 415kg |
英國愛德華EDWARDS晶圓半導體iH600干式真空泵維修
概述
Edwards 高級半導體真空泵已經過現場應用證明，可以按照高工作標準運行。通過延長使用壽命、提高運行時間并提高生產率，同時減小占地面積、降低運行成本，實現了高的可靠性和性能。英國愛德華晶圓半導體iH600干式真空泵維修
iH 系列為難以執行的制程（如存在微粒、易冷凝和腐蝕性副產品的 PECVD 和 LPCVD 制程）提供了高可靠性。
應用
- 負載鎖
- 輸送
- 計量
- 平版印刷
- PVD 制程
- PVD 預清潔
- RTA
- 剝離/灰化
- 刻蝕
- 植入源
- HDP CVD
- RTP
- SACVD
- MCVD
- PECVD
- LPCVD
- ALD
功能和優勢
- 優化了設施消耗。
- 無需預防性維護。
- 懸臂軸和特殊的異型轉子便于顆粒的處理。
- 在節省電機功率的同時提高了工作繁重的 CVD 應用條件下的穩定性。
- 耐腐蝕的制造材料允許泵送腐蝕性氣體。
- 較高的工作溫度為避免氣體冷凝提供了充分的安全保證。
- 整體式軸桿無需使用電機聯結器，而第五級泵消除了使用消音器的需要并消除了顆粒堆積，從而降低了總體占地面積。英國愛德華晶圓半導體iH600干式真空泵維修
技術數據
| 峰值速度 | 600 m3h-1 |
| 353 cfm | |
| 10000 l min-1 | |
| 極限真空 | 7 x 10-4 mbar |
| 5.3 x 10-4 Torr | |
| 0.07 Pa | |
| 典型軸封氮流量 | 4 slm |
| 進氣口連接 | ISO100 |
| 出口連接 | NW40 |
| 15 psi 壓降下典型冷卻水流量 | 240 l h-1 |
| 4 l min-1 | |
| 重量 | 415 kg |
| 極限功率輸入 | 3.4 kW |
| 電機額定功率 | 6.1 kW |
| 油容量 | 1.43 l |
所有數字均為無氣鎮時的典型值。
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