•　15 級(jí)的寬測量范圍

•　較短的抽氣和響應(yīng)時(shí)間

•　I-CAL（智能泄漏率計(jì)算法）確保了在所有測量范圍中提供較快的泄漏響應(yīng)時(shí)間

•　抑零功能和自動(dòng)積分時(shí)間校正，可提供快速、可靠的泄漏檢測結(jié)果

•　含堅(jiān)固耐用低真空泵和多入口渦輪分子泵的智能型真空設(shè)計(jì)，提供較高氦氣抽氣能力和高壓縮比

•　自保護(hù)功能可防止 UL1000 Fab 氦氣檢漏儀受到氦氣和微粒的污染

•　自動(dòng)吹掃循環(huán)可確保清理并隨時(shí)可進(jìn)行泄漏檢測

•　可通過電子郵件進(jìn)行軟件更新

•　內(nèi)置軟件菜單“自動(dòng)測漏”功能可執(zhí)行密封組件的自動(dòng)測試（可選 TC1000 測試盒）  

                  應(yīng)　用

•　對(duì)半導(dǎo)體加工工具執(zhí)行維護(hù)作業(yè)，無論是否具有自有泵支持

•　需要較高抽氣能力、高靈敏度和清潔測試條件的應(yīng)用

•　在現(xiàn)有工具中安裝前對(duì)部件執(zhí)行檢漏

•　工藝氣體系統(tǒng)的檢查和安裝

•　內(nèi)置軟件菜單“自動(dòng)測漏”功能可使用 TC1000 測試盒執(zhí)行密封組件的自動(dòng)測試