產地類別 | 國產 | 加熱方式 | 電加熱 |
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價格區(qū)間 | 5萬-10萬 | 控溫精度 | ±1℃ |
內部尺寸 | 訂制mm | 升溫速度(達到最高溫) | 5/min |
儀器種類 | 管式爐 | 應用領域 | 醫(yī)療衛(wèi)生,化工,石油,能源,電子/電池 |
最大功率 | 訂制kW | 最高溫度 | 1650℃ |
真空氣氛管式爐專門設計用于半導體材料擴散、氧化工藝,盡可能滿足其重點特殊要求;同時也用于太陽能電池行業(yè)的氮化硅、磷硅玻璃、硼磷硅玻璃、多晶硅等多種渡膜(LPCVD)工藝。該爐采用FEC陶瓷纖維管保溫,KTL電阻絲加熱,優(yōu)質氣煉石英管作為爐膛,可預抽真空并通入保護/反應氣體;日本*單回路溫度控制儀控制,溫區(qū)設計隔板結構,溫度均勻。進口氣氛控制系統(tǒng),浮子流量計控制。具有溫度均勻、控制穩(wěn)定、具有溫度擾動小、升溫速度快、使用溫度高、保溫效果好、壽命長、節(jié)能等特點,是企業(yè)規(guī)模生產的理想設備。
設備型號 | RGL(D)-07/75/3 | RGL(S)-09/60/6 | RGL(D)-18/110/3 | RGL(D)-25/100/6 |
高溫度 | 1050℃ | 1050℃ | 1050℃ | 1050℃ |
使用溫度 | RT-1000℃ | RT-1000℃ | RT-1000℃ | RT-1000℃ |
控制精度 | ±1℃ | ±1℃ | ±1℃ | ±1℃ |
溫區(qū)個數(shù) | 3 | 6 | 3 | 6 |
爐管尺寸 | φ70x2200mm | φ90x1800mm | φ180x2100mm | φ250x2100mm |
發(fā)熱元件 | 電阻絲 | 電阻絲 | 電阻絲 | 電阻絲 |
特點:
真空氣氛管式爐采用高純氣煉石英管作為內爐膛,具有良好的潔凈度,耐火保溫材料全部采用*的輕質纖維制品,整機能耗低,升溫快。加熱元件采用真空成型FEC陶瓷纖維加熱器,溫控系統(tǒng)采用進口多段智能程序溫控儀控制,溫度控制具有良好的穩(wěn)定性,重復性。