Zeta-388 KLA 表面光學(xué)輪廓儀
- 公司名稱 優(yōu)尼康科技有限公司
- 品牌 KLA-Tencor
- 型號(hào) Zeta-388
- 產(chǎn)地 美國(guó)
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時(shí)間 2025/6/25 10:43:51
- 訪問(wèn)次數(shù) 3796
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主動(dòng)式減震臺(tái),Profilm3D光學(xué)輪廓儀,Filmetrics膜厚測(cè)量?jī)x,薄膜厚度測(cè)量?jī)x,粗糙度測(cè)量,輪廓測(cè)量，橢偏儀
| 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 產(chǎn)品種類 | 非接觸式輪廓儀/粗糙度儀 |
|---|---|---|---|
| 價(jià)格區(qū)間 | 面議 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 醫(yī)療衛(wèi)生,生物產(chǎn)業(yè),電子/電池,汽車及零部件 |
KLA Zeta-388 光學(xué)輪廓儀
KLA Zeta-388 光學(xué)輪廓儀產(chǎn)品介紹：
KLA Zeta-388光學(xué)輪廓儀是非接觸式三維表面形貌測(cè)量系統(tǒng)。該系統(tǒng)在Zeta-300光學(xué)輪廓儀的基礎(chǔ)上，增加了用于全自動(dòng)測(cè)量的機(jī)械手臂操作系統(tǒng)。Zeta-388光學(xué)輪廓儀采用ZDot技術(shù)和多模組光學(xué)系統(tǒng)，可測(cè)量各種不同的樣品：包括透明與不透明、低至高反射率、光滑到粗糙的表面，以及亞納米級(jí)到毫米級(jí)的臺(tái)階高度。KLA Zeta-388光學(xué)輪廓儀支持OCR和SECS/GEM，從而可用于全自動(dòng)產(chǎn)線的生產(chǎn)制造。
KLA Zeta-388 光學(xué)輪廓儀產(chǎn)品特點(diǎn)：
快速的非接觸式三維光學(xué)輪廓儀
多模組光學(xué)系統(tǒng)提供3D掃描、差分干涉、薄膜厚度和自動(dòng)缺陷檢測(cè)
全自動(dòng)測(cè)量
同時(shí)提取樣品表面的真彩色信息和形貌信息
支持100至200mm的晶圓
支持OCR和SECS/GEM，適用于自動(dòng)化產(chǎn)線的生產(chǎn)環(huán)境
用戶界面簡(jiǎn)潔直觀
KLA Zeta-388 光學(xué)輪廓儀主要應(yīng)用：
從納米級(jí)到毫米級(jí)的臺(tái)階高度，可用于高深寬比臺(tái)階測(cè)量
從亞納米級(jí)至亞毫米級(jí)的表面粗糙度分析，適用于光滑表面和粗糙表面
Z向高分辨率的白光干涉測(cè)量，可用于廣域臺(tái)階高度測(cè)量
移相掃描干涉技術(shù)可快速測(cè)量小于250nm的臺(tái)階高度
薄膜應(yīng)力和樣品翹曲測(cè)量
測(cè)量30nm到100μm透明薄膜的厚度，可提供薄膜均勻性數(shù)據(jù)和薄膜厚度分布圖
自動(dòng)缺陷檢測(cè)，可識(shí)別橫向尺寸大于1μm的缺陷
KLA Zeta-388 光學(xué)輪廓儀產(chǎn)品測(cè)量原理：
KLA Zeta-388 光學(xué)輪廓儀?的原理?是通過(guò)共聚焦原理實(shí)現(xiàn)樣品的高分辨率、高對(duì)比度的光學(xué)切片能力。它結(jié)合了傳統(tǒng)光學(xué)顯微鏡和激光共聚焦顯微鏡的特點(diǎn)，利用寬譜白光作為光源，通過(guò)空間濾波機(jī)制消除離焦光干擾，從而獲得高精度的三維圖像
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KLA Zeta-388 光學(xué)輪廓儀其他應(yīng)用：
圖形化藍(lán)寶石襯底 | VCSEL元件 |
納米級(jí)臺(tái)階高度 | 激光切割 |
晶圓級(jí)封裝 | 其他應(yīng)用 |
KLA Zeta-388 光學(xué)輪廓儀測(cè)量圖：
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