靈敏度: 20 - 100 nm

Chem 20™ 化學式粒子計數器

*的微電子工藝需要非常潔凈的工藝化學品，該粒子計數器需要經過高度過濾，適用于≤20nm的粒子。 PMS Chem 20化學式粒子計數器具有20 nm的粒子靈敏度，是目前靈敏度zui高的高純度工藝化學品粒子傳感器。

來自化學品輸送和包裝系統的廣泛數據證明，與其競爭產品相比，具有20nm靈敏度的PMS Chem 20傳感器統計出的顆粒濃度較大，數據具有統計意義。 Chem 20化學顆粒計數器是非常有用的工具，在化學顆粒源影響工藝和設備性能之前，它使設備和工藝工程師能夠快速檢測并描述化學顆粒源。

特點

• *的激光光學和檢測器使檢測化學物質的靈敏度達到20 nm
• 車載化學流量計用于設定樣品流量
• di一個能針對低和高折射率化學品進行優化的顆粒計數器，以提高產品性能：
  Chem 20傳感器，用于具有較低折射率的化學品
  Chem 20-HI傳感器，適用于硫酸和其他高指數化學品
• 內部泄漏檢測會在內部化學品泄漏時提供報警
• 低流量檢測器和報警器，以確保數據*
• 宏觀氣泡探測器用于保護傳感器性能
• 本地數據顯示

優點

• 實時檢測20 nm PSL和9 nm Au微粒
• 檢測影響良率的粒子（競爭技術無法達到）
• 在掃描表面或得到數據之前，快速響應粒子偏移
• 優化化學品輸送系統，覆蓋從裝卸碼頭到加工點的整個過程
• 改善樣本的數據統計，加強過程工藝控制
• 針對不同潔凈度的產品，使用兩種視圖模式優化儀器操作，拓展產品應用空間
• 傳統數據采集系統能夠靈活通信

應用

• 化學輸送系統內的實時粒子監測
• 流程監控點
• 化學包裝操作監控
• 化學過濾器性能和效率描述
• 化學處理部件的性能測試

在線塵埃粒子計數器，在線浮游細菌，在線風速儀，在線壓差儀，在線粉塵儀，在線溫濕度，高效檢漏儀，落塵量測試，空氣粒子，顆粒分析，在線多點潔凈室檢測，氣溶膠發生器，光度計,浮游細菌采樣器，空氣采樣器，微生物采樣器，集菌儀，生物安全柜，凈化工作臺，超凈工作臺，潔凈化工作臺,風量儀，風速儀，溫濕度壓差，聲級計，照度計，粉塵儀，PM2.5,激光粒度儀，生物器材，風淋室，貨淋室，傳遞窗，烘箱，干燥箱，培養箱，滅菌器，滅菌鍋，滅菌柜，多點實時監測系統，儀器儀表，分析儀，灰塵濃度測試，液體塵埃粒子計數器，過濾器完整性測試儀，微生物限度儀，凈化檢測臺，生物安全柜檢定裝置，生物安全柜3Q認證，凈化工作臺3Q認證，潔凈傳遞窗，機械互鎖傳遞窗，電子互鎖傳遞窗，測塵儀，測距儀，測厚儀，洗手池，安全柜，工作臺，潔凈臺，超凈臺，生物柜，生化培養箱，多功能環境測量系統，在線溫濕度記錄儀，在線溫濕度監測系統，在線微生物采樣系統，REMOTE3016P在線塵埃粒子計數器,CLJ-REMOTE3016P在線塵埃粒子計數器,REMOTE3106P在線塵埃粒子計數器,CLJ-REMOTE3106P在線塵埃粒子計數器 ,REMOTE3104在線塵埃粒子計數器,Remote 3014在線塵埃粒子計數器,塵埃粒子在線監測系統