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自動氦氣檢漏儀（SUPER-ALT）

ALT•S系列

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ulvacALT•S系列愛發(fā)科檢漏儀維修

ALT_S_系列

一種使用氦氣作為檢測氣體的泄漏測試設(shè)備。自動氦氣泄漏測試儀結(jié)合了采用專有技術(shù)的新機制，可實現(xiàn)高速處理并進一步節(jié)省空間。

特色功能

通過在測試臺上使用轉(zhuǎn)臺，更換工件的工作時間減少了一半。

氦氣填充過程和泄漏測試過程在不同位置同時進行，大大減少了處理時間。

配備有氦檢漏儀“Héliot酒店-ZERO”，檢查從制品泄漏的氦氣在真空排氣※可能要被檢查

※“在真空排氣快速氣體分析機構(gòu)”

高速處理可以節(jié)省空間，例如減少測試箱的數(shù)量。

腔室數(shù)量可以減少到一個，無需移動工作位置，提高了工作效率

通過將設(shè)備集成到一個基座（單元）中來縮短現(xiàn)場啟動時間

易于維護，因為可以將泵單元從主機中拉出

使用方法

汽車領(lǐng)域：壓縮機，汽車空調(diào)，機油冷卻器，EGR冷卻器

空調(diào)制冷設(shè)備：壓縮機，熱交換器，膨脹閥

機械（精密）領(lǐng)域：各種閥門，壓力表，航空儀表，壓力調(diào)節(jié)開關(guān)

規(guī)格書

系統(tǒng)靈敏度 10×1.0 -7帕•中號3 / S

箱體尺寸 φ340×H500（45L）

疏散系統(tǒng) 主排氣系統(tǒng) PRC-012A +（EC-803 x 2）

測試系統(tǒng) 氦氣檢漏儀 零升空

處理能力 40秒/ 1室（機器時間）

效用 電源供應(yīng) AC200V20KVA

氦氣 0.1-0.9MPa

壓縮空氣 0.5兆帕

冷卻水 0.18M 3 / H（15℃?30℃）

選件 氦氣自動填充機構(gòu)

氦氣充回收機制

氦氣混合/收集機制

ñ 2 ·干燥空氣的高壓發(fā)生器

運輸系統(tǒng)

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產(chǎn)品類別

濺射設(shè)備

CVD設(shè)備

真空蒸鍍設(shè)備

氣相沉積聚合設(shè)備

灰化設(shè)備

蝕刻設(shè)備

離子注入機

退火設(shè)備

真空爐

收卷裝置

冷凍真空干燥機

真空蒸餾設(shè)備

氦氣泄漏測試設(shè)備

其他

按應(yīng)用分類

半導體工藝（FEOL / BEOL）

半導體工藝（非易失性存儲器）

LED裝置

動力裝置

實作

MEMS器件

光學膜

磁性裝置

可充電電池

液晶屏

有機發(fā)光二極管

觸控面板

展示設(shè)備

太陽能電池

磁鐵

汽車零件

接線材料

電容器類

包裝材料

裝飾裝修

藥

食物

衛(wèi)生保健

電子材料

功能材料

飛機

動力傳動設(shè)備

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