派克PARKER超高純隔膜閥產品描述：

派克955系列1-1/4英寸不銹鋼閥體隔膜閥能夠提供出色的抗漏能力，長久的使用壽命以及低雜質生成。這些優點使它成為高純半導體應用的理想選擇。

955系列在過程流體的使用中采用無螺紋及彈簧連接，這種設計能夠大限度的減少雜質的生成并且可以使過程減少污染，而這是半導體應用的關鍵。嚴格的閥門設計能夠控制閥座及膜片的壓力，從而提供穩定的免維護的使用壽命。955系列與流體接觸的部分由特殊的金屬構成具有的防腐蝕性及抗漏能力。閥體內部為Vericlean™ 316L不銹鋼電拋光材質。Vericlean™ 是派克出色的超高純級不銹鋼材質。膜片是高強度的鈷基合金。955系列閥座同時提供PCTFE(聚三氟氯乙烯），PEEK®（聚醚醚酮）和Vespel®(聚酰亞胺樹脂）材質，以便可以兼容廣范圍的過程流體。這些材質組成了955系列嚴格的設計特征，為955系列提供了的抗腐蝕性，在入口壓力250 psig時達到更大的使用壽命。

955系列的氣動閥被設定成能夠用限位開關或接近開關來提供開-關的位置指示。這個設定也應用在多閥體構造中，包括955Y（Y閥）和SM955（表面組裝）。955系列閥的內部（閥座）密封和金屬外部密封均采用質譜儀進行氦氣泄漏測試，以獲得其在高要求的超高純應用中有出色穩定的表現。

派克PARKER超高純隔膜閥特點/優勢：
• 5微英寸（Ra）電解拋光表面光潔度
• 高使用壽命（包含腐蝕性條件下）
• 內部無彈簧和無螺紋設計，更大限度的減少了雜質的生成和氣體的卷入
• 從真空到250 psig適用
• 內部泄漏率：≤ 1 x 10-9 scc/sec He
• 外部泄漏率：≤ 2 x 10-10 scc/sec He
• 標稱AOP驅動壓力為75 psig

派克PARKER超高純隔膜閥應用：
• 腐蝕性和特殊氣體
• 半導體工具
• 工具連接
• 特氣柜
• 閥箱

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