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化工儀器網>產品展廳>測量/計量儀器>其它測量/計量儀器>真空計> Leybold TTR 91N 真空計

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Leybold TTR 91N 真空計

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測量原理 1 產地類別 進口
價格區間 2千-5千 量程 1mbar
應用領域 環保,農林牧漁,文體,能源,包裝/造紙/印刷 真空接口 1

Leybold TTR 91N 真空計

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皮拉尼電阻規

皮拉尼電阻規皮拉尼電阻規

也叫做熱電阻真空計,它是利用電阻與溫度之間關系的原理工作的。

如右圖所示,由于不同氣壓下氣體分子熱傳導能力不同,當給熱絲加恒定的電流時,由于氣壓不同通過氣體傳導走的熱量不同,熱絲所保持的溫度就不同,這導致熱絲電阻大小不同,通過測量熱絲電阻大小就可以推算氣壓大小。

如果配合電橋測量熱絲電阻的變化,將有效提高測量的準確度。

這種規的測量范圍一般在0.1Pa至1000Pa。

由于不同氣體在相同氣壓時導熱性不同,所以這種規需要在不同的使用氣體下標定。

熱電偶規

熱電偶規熱電偶規

如右圖所示,熱電偶規與皮拉尼電阻規基本原理一致,只是它不用測量熱絲電阻的變化,而是用熱電偶直接測量熱比的溫度變化。

測量范圍一般與在0.1Pa至1000Pa。

與皮拉尼電阻規一樣,這種規也需要在不同的使用氣體下標定。

熱陰極電離規

熱陰極電離規熱陰極電離規

如右圖所示,熱陰極電離規中,由熱陰極即燈絲發射電子,電離真空中的氣體分子,產生離子,由收集極收集產生的離子,形成離子電流,通過測量離子電流的大小即可推算出真空中氣體分子的密度,進而得到氣壓大小。

這種規的測量范圍一般為1.0E-05Pa至0.1Pa。

經改進后的熱陰極電離規,Bayard-Alpert規,可以將測量下限降低至1.0E-09Pa。

由于不同氣體在相同氣壓下的電離率不同,這種規在使用時也需要在不同氣體下進行標定。

冷陰極電離規

冷陰極電離規冷陰極電離規

如右圖所示,冷陰極電離規也是通過電離氣體分子收集離子電流的方法進行氣壓測量,但與熱陰極電離規不同的是,它是利用磁控放電電離氣體分子產生離子。

這種規的測量范圍一般為1.0E-07Pa至0.1Pa。

與熱陰極電離規同樣的原因,這種規在使用時需要在不同氣體下標定。

Leybold TTR 91N 真空計



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