日本雅瑪拓*PR500/510桶型等離子灰化機高頻輸出50~500W，反應腔Φ215×305mm
PR500：手動控制 PR510：自動觸摸屏控制 
低溫等離子的經典款非常具有歷史性。采用自動協調功能 及觸摸屏操作（PR510）,提高了操作性及安全性,是一款小型緊湊型的等離子處理設備。
用途
●去除光刻膠
●部品清洗
●界面活性處理
●微研磨
●硅晶圓，玻璃基板對應
特征
●大口徑（Φ215mm）石英反應腔
●小型一體化設計
●操作簡單的觸摸屏方式（PR510型）

PR500/510雅瑪拓桶型等離子灰化機技術規格

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