光刻機冷卻裝置水冷式冷水機

冷水機組采用*的微電腦智能化控制系統，精確控制工業生產過程所需的各種溫度（5℃～35℃）。不僅調控溫度全面實現人機界面功能且保證機組控溫精度高達±1℃。對于其他溫度范圍可按要求定制。

1、制冷壓縮機及其它制冷配件和控制元器件均采用國內,不僅保證機組性能的充分發揮，同時確保機組具有較長的使用壽命。

2、冷水機組具備完善的保護裝置（高壓、低壓、過壓、欠壓、過載、缺相、時間延時、缺水保護等）及聯鎖控制線路,且主要故障均在面板上顯示,檢修簡易。

3、節流方式均采用外平衡熱力膨脹閥控制，溫度調節范圍廣，制冷劑流量自動控制，機組運行穩定，能效比高，與目前市場上普遍采用的毛細管節流相比，具有*的*性。當工況如環境溫度、要求的水溫、熱負荷等變化時，毛細管無法自我調節，此時制冷量下降，同時可能會造成壓縮機排氣溫度過高、潤滑性下降或液擊，直接影響機組的使用壽命，嚴重時制冷系統無法正常工作。

4、水冷式冷凝器采用無縫齒狀外螺紋銅管殼管式，數控車床精細加工，具有特強換熱效率，壽命長，可拆洗等優點；風冷式冷凝器采用蜂窩鋁翅片串高效內螺紋紫銅管配合高效軸流風機，換熱效果非常好。

5、蒸發器可根據不同用途選擇如（不銹鋼水箱盤管式、不銹鋼板式、干式殼管式、電鍍耐酸蒸發器）。

6、選不銹鋼優質水泵，干燥過濾器等部件勻采用美國艾默森品牌，可靠耐用。

7、按需內置或外置補給貯水箱，避免啟停頻繁，自動或手動補充水。

有適合各種機械設備配套之機型，可按客戶要求特別制造。

特殊配電要求可定制。

冷凍水的壓力和溫度——講解

　　空調用冷水機組一般是在標準工況所規定的冷水回水溫度12℃，供水溫度7℃，溫差5℃的條件下運行的。對于同一臺冷水機組來說，其運行條件不變，外界負荷一定的情況下，冷水機組的制冷量是一定的。此時，通過蒸發器的冷水流量與供、回水溫差成反比，即冷水流量越大，溫差越小；反之，流量越小，溫差越大。所以，冷水機組工況規定冷水供回水溫差為5℃，這實際上是規定了機組的冷水流量。這種冷水流量的控制就表現為控制冷水通過蒸發器的太力降。

　　在標準工況下，蒸發器上冷水供回水壓降調定為0.5kgf/cm2。其壓降調定方法是調節冷泵出口閥門開度，和蒸發器供、回水閥門開度。閥門開度調節的原則是：蒸發器出水有足夠的壓力來克服冷水閉式循環系統中阻力；機組在負擔設計負荷的情況下運行，蒸發器進、出水溫差為5℃。此時進、出蒸發器的冷水壓降為0.5kg/cm2左右。

　　按照上述要求，閥門一經確定，冷水系統各閥門開度大小就應相對穩定不變。即使在非調定工況下運行（如卸載運行）旱，各閥門也應相對穩定不變。應當注意，全開閥門加大冷水流量，減少進、出水溫差的做法是不可取的。這樣做雖然會使蒸發器的蒸發溫度提高，機組的冷量有所增加，但水泵功率也因此而提高，兩相比較得不償失。所以，蒸發器冷水側進、出水壓降控制在49.05kPa(0.5kgf/m2)為宜。

　　一般來說，冷水供水管上的壓力，只要能夠滿足克服冷水管系統中管道上的陰力損失就可以了，這可以從安裝在冷水泵上的吸入壓力表讀數來判別。然后通過控制冷水泵出水閥的開度，可以調節冷水供水壓力。將出水閥開度關小，則冷水泵背壓提高，通過水泵的流量減少，水泵功率消耗下降，這時蒸發器的供水壓力下降，但該壓力無論如何也不應低于滿足蒸發器供、回水壓降為49.05kPa(0.5kgf/m2)的要求。

　　為了冷水機組的運行安全，蒸發器出水溫度一般不低于3℃。此外，冷水系統雖然是封閉的，在蒸發器中水側結垢和腐蝕不會像冷凝器那樣嚴重，但從設備檢查維修要求出發，應每年對蒸發器管道的水側和冷水系統的其他管道清洗一次。

【光刻機冷卻裝置水冷式冷水機】