風冷式冷水機半導體光刻機冷卻

風冷式冷水機

機組特點：

● 主機精選歐、美、日全新世界品牌壓縮機，制冷效率高，低噪音低，節省電能，安全環保耐用。

● 采用新型環保制冷劑，無臭氧破壞，可根據不同國家和地區選不同的環保制冷劑。

● 控制電氣采用品牌控制電器，保證機器工作穩定，壽命長久，安全可靠。

● 水泵，大排量，低能耗，省電耐用，可根據用戶要求來選擇水泵品牌及揚程和泵體材質。

● 低噪音外轉子風機或軸流風機,噪音低,風量大，省電環保耐用。

● 配備精密式數顯溫度控制器，操作方便，簡單直觀。能精確控制水溫±1℃，設定溫度范圍 5 ℃ -50 ℃，可直接分析機組的運行狀況。(可根據用戶要求配置控制系統。)

● 標配干式殼管式蒸發器或（不銹鋼板式蒸發器），內置高效換熱管，設計合理，換熱效果良好；清洗維護方便快捷。

●冷凍水流體路采用高效能絕熱材料保溫，損失冷量少，更佳省電耐用。

● 水冷機組冷凝器采用高效能殼管式換熱器（可選配不銹鋼板式換熱器），內置高效換熱齒牙管，設計合理，換熱效果良好；

● 風冷機組采用高效防腐散熱器，由高效防腐的散熱鋁箔加上高效的螺紋換熱的螺紋銅管組成，制造時采用二次翻邊翹片機械漲管工藝和*換熱器生產線，保證優質高效環保節能。

● 靜電噴塑外殼，歐化設計，美觀大方，外表板采用快速拆裝形式，方便使用和維護。

冷凍水的壓力和溫度——講解

　　空調用冷水機組一般是在標準工況所規定的冷水回水溫度12℃，供水溫度7℃，溫差5℃的條件下運行的。對于同一臺冷水機組來說，其運行條件不變，外界負荷一定的情況下，冷水機組的制冷量是一定的。此時，通過蒸發器的冷水流量與供、回水溫差成反比，即冷水流量越大，溫差越小；反之，流量越小，溫差越大。所以，冷水機組工況規定冷水供回水溫差為5℃，這實際上是規定了機組的冷水流量。這種冷水流量的控制就表現為控制冷水通過蒸發器的太力降。

　　在標準工況下，蒸發器上冷水供回水壓降調定為0.5kgf/cm2。其壓降調定方法是調節冷泵出口閥門開度，和蒸發器供、回水閥門開度。閥門開度調節的原則是：蒸發器出水有足夠的壓力來克服冷水閉式循環系統中阻力；機組在負擔設計負荷的情況下運行，蒸發器進、出水溫差為5℃。此時進、出蒸發器的冷水壓降為0.5kg/cm2左右。

　　按照上述要求，閥門一經確定，冷水系統各閥門開度大小就應相對穩定不變。即使在非調定工況下運行（如卸載運行）旱，各閥門也應相對穩定不變。應當注意，全開閥門加大冷水流量，減少進、出水溫差的做法是不可取的。這樣做雖然會使蒸發器的蒸發溫度提高，機組的冷量有所增加，但水泵功率也因此而提高，兩相比較得不償失。所以，蒸發器冷水側進、出水壓降控制在49.05kPa(0.5kgf/m2)為宜。

　　一般來說，冷水供水管上的壓力，只要能夠滿足克服冷水管系統中管道上的陰力損失就可以了，這可以從安裝在冷水泵上的吸入壓力表讀數來判別。然后通過控制冷水泵出水閥的開度，可以調節冷水供水壓力。將出水閥開度關小，則冷水泵背壓提高，通過水泵的流量減少，水泵功率消耗下降，這時蒸發器的供水壓力下降，但該壓力無論如何也不應低于滿足蒸發器供、回水壓降為49.05kPa(0.5kgf/m2)的要求。

　　為了冷水機組的運行安全，蒸發器出水溫度一般不低于3℃。此外，冷水系統雖然是封閉的，在蒸發器中水側結垢和腐蝕不會像冷凝器那樣嚴重，但從設備檢查維修要求出發，應每年對蒸發器管道的水側和冷水系統的其他管道清洗一次。

【風冷式冷水機半導體光刻機冷卻】