1、SPS旋涂儀結構：
* NPP-H（具有α晶的天然聚丙烯）的耐腐蝕結構）為整個系統提供更好的剛性和韌性
*高品質無縫制造表面，全工程塑料
*適用于通風柜和雜物箱
*大處理室直徑：202毫米

2、數字電機控制：
*具有數字增量速度信號的數字實時閉環控制伺服電機反饋
*提供高精度的轉速（±0.1 rpm）和寬范圍的轉速（1至12,000 rpm），這是傳統PID電機控制器無法實現的

3、透明蓋：
淬火的透明玻璃瓶蓋，帶有注射器支架和N2擴散器，可在處理過程中進行N2吹掃
*注射器支架可幫助用戶始終在期望的相同位置和位置分配抗蝕劑/化學物質
*控制室環境對于恒定的過程結果至關重要
*堅固的自彈式蓋鉸鏈，可自動將蓋保持在好狀態，以便輕松搬運和卸下基板；同時確保蓋子上的任何殘留化學物質都流入系統排水口
*透明蓋清晰可見內部

4、SPIN150i旋涂儀安全聯鎖：
*Process Chambe Lid始終為所有用戶安全鎖定，并且僅在單擊蓋子打開顯示圖標時才能打開
*電磁蓋聯鎖在打開時停止旋轉，而真空聯鎖（可編程）在沒有足夠真空或沒有真空的情況下停止旋轉
*防止傷害使用者并避免基材破裂

5、連接：
*三個可編程繼電器輸出，可用于操作自動分配系統，外部閥或其他附件。
*多種夾頭可供選擇，用于直徑大為160 mm的不同尺寸的基板
*制氮過程中的氮氣擴散器
6、可拆卸控制器：可拆卸的全尺寸觸摸屏，手套防護，IP 52，耐化學腐蝕
7、彩色觸摸屏顯示：可輕松編程速度，加速度和時間
8、無限程序存儲：可用于多個步驟的配方，每個配方均適用于：
*時間：0.1至99999秒/步
*速度：0至12,000 rpm
*旋轉方向：順時針，逆時針，攪動
*加速/減速：1至30,000 rpm / sec（每步可選）
*真空開/關
*3個可編程的干觸點：例如用于分配單元，氮氣擴散器等的自動控制
9、USB端口：可輕松上傳和下載配方以及更新軟件版本
10、存儲：結構化和受密碼保護的方案存儲，可輕松安全地進行管理

SPS旋涂儀技術參數

大樣品尺寸: 160mm
大腔體直徑: 202mm
伺服控制馬達
程序數字處理控制器:
存儲50個程序，每個程序可設計99步菜單指令
轉速 1-12000 rpm
天然聚丙烯材質，對強腐蝕的化學試劑可選用聚四氟乙烯材質的勻膠機
配有防污染內襯，標配兩個大小吸盤
儀器尺寸: 275 (w) x 240 (d) x 450 (h) mm