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EVG Bond Alignment EVG 610BA 鍵對準系統(tǒng)
- 公司名稱 北京亞科晨旭科技有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號 EVG Bond Alignment
- 產(chǎn)地 奧地利
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時間 2024/9/25 16:35:44
- 訪問次數(shù) 1084
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| 產(chǎn)地類別 | 進口 | 應用領(lǐng)域 | 電子/電池 |
|---|
EVG 610 BA Bond Alignment System
EVG 610BA 鍵對準系統(tǒng)
適用于學術(shù)界和工業(yè)研究的晶圓對晶圓對準的手動鍵對準系統(tǒng)
EVG610鍵合對準系統(tǒng)設(shè)計用于zui大200 mm晶片尺寸的晶片間對準。 EV Group的粘結(jié)對準系統(tǒng)可通過底側(cè)顯微鏡提供手動高精度對準平臺。 EVG的鍵對準系統(tǒng)的精度可滿足MEMS生產(chǎn)和3D集成應用等新興領(lǐng)域中zui苛刻的對準過程。
特征
zui適合EVG 501和EVG 510粘合系統(tǒng)
晶圓和基板尺寸zui大為150/200 mm
手動高精度對準臺
手動底面顯微鏡
基于Windows 的用戶界面 的多用戶概念（無限數(shù)量的用戶帳戶，各種訪問權(quán)限，不同的用戶界面語言；桌面系統(tǒng)設(shè)計，占用空間zui?。恢С旨t外對準過程；研發(fā)和中試生產(chǎn)線的zui佳總擁有成本（TCO）；
EVG610 BA技術(shù)數(shù)據(jù)
常規(guī)系統(tǒng)配置：
桌面
系統(tǒng)機架：可選
隔振：被動
對準方法
背面對齊：±2 µm 3σ ； 透明對準：±1 µm 3σ
紅外校準：選件
對準階段
精密千分尺：手動； 可選：電動千分尺
楔形補償：自動
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