亚州一区二区三区中文字幕国产精品-日韩人妻一区二区三区蜜桃视频-亚洲中文字幕久久无码精品-午夜精品亚洲一区二区三区嫩草-日韩人妻一区二区三区蜜桃视频-国产一区二区精品高清在线观看-国产欧美日韩综合精品一区二区

官方微信|手機版

產品展廳

產品求購企業資訊會展

發布詢價單

化工儀器網>產品展廳>光學儀器及設備>光學測量儀>橢偏儀> Bruker橢偏儀 FilmTek 6000 PAR-SE

分享
舉報 評價

Bruker橢偏儀 FilmTek 6000 PAR-SE

具體成交價以合同協議為準
產品標簽

Bruker橢偏儀

聯系方式:李志鵬查看聯系方式

聯系我們時請說明是化工儀器網上看到的信息,謝謝!


上海爾迪儀器科技有限公司是一家代理經銷國內外儀器的專業公司。在制藥、化工、環保、科研、大學、醫學等領域開拓了廣泛的市場,并贏得了廣大用戶的支持和信賴。爾迪在今后的發展中,將貫徹誠信、服務、務實、創新的經營理念,一如既往地把國內外優秀的儀器設備介紹并提供給國內的用戶。孜孜追求,不懈努力,不斷提高服務水平,為提升用戶的檢測水平和科研水平貢獻各自的綿薄之力,與廣大用戶共同享受科技成果,在互利協作中共同進步。







YAMATO,bruker,Diener,Kashiyama

測量速度 2min 產地類別 進口
單次測量時間 2s 光斑尺寸 50 µmmm
光譜范圍 190 nm - 1700 nmnm 膜厚測量準確度 ±1.0至NIST可追溯標準氧化物100至兩個1µmnm
應用領域 石油,電子/電池,綜合 光源 調節氘鹵素燈

Bruker橢偏儀 FilmTek 6000 PAR-SE

——用于IC器件開發和制造的先進多模薄膜計量學

Bruker橢偏儀 FilmTek 6000 PAR-SE


FilmTek™ 6000標準桿數-SE先進的多模薄膜計量系統在1x nm設計節點和更高的位置為廣泛的薄膜層提供生產驗證的薄膜厚度、折射率和應力測量監測。該系統能夠在新一代集成電路的生產過程中實現更嚴格的過程控制,提高器件產量,并支持下一代節點技術的開發。


制造1x nm的先進IC器件需要使用高度均勻的復合膜。能夠監測非常薄的薄膜的計量工具,通常在多層膜堆疊中(例如,高k和氧化物-氮化物-氧化物膜),使制造商能夠保持對膜構建過程的嚴格控制。此外,一些工藝,如多重圖案化,會導致薄膜厚度的梯度,必須對其進行監控,以獲得佳器件性能(例如,注入損傷和低k薄膜)。不幸的是,現有的計量工具依賴于傳統的橢偏測量或反射測量技術,其檢測這些應用的薄膜梯度變化的能力有限。


為了克服這些挑戰,FilmTek 6000標準桿數-SE將光譜橢圓偏振儀和DUV多角度極化反射儀與寬光譜范圍相結合,以滿足與多圖案和其他前沿器件制造技術相關的需求。該系統采用我們多角度差分偏振(MADP)和差分功率譜密度(DPSD)技術,可獨立測量薄膜厚度和折射率,顯著提高其對薄膜變化的靈敏度,尤其是多層堆疊中的變化。這種組合方法對于用于復雜器件結構的超薄和厚膜疊層都是理想的。


Bruker橢偏儀 FilmTek 6000 PAR-SE

技術規格


膜厚范圍0 ? to 150 µm
膜厚精度±1.0至NIST可追溯標準氧化物100至兩個1µm
光譜范圍190 nm - 1700 nm (220 nm - 1000 nm is standard)
光斑尺寸的測量50 µm
樣本量2 mm - 300 mm (150 mm standard)
光譜分辨率0.3 nm - 2nm
光源調節氘鹵素燈(壽命2000小時)
探測器類型2048像素索尼線陣CCD/512像素冷卻濱松InGaAs CCD陣列(NIR)
電腦帶Windows的多核處理器™ 10操作系統
測量時間每個場地約2秒(如氧化膜)

性能規格


Film(s)  測量參數精確 ()
氧化物/硅0 - 1000 ?t0.03 ?
1000 - 500,000 ?         t0.005%
1000 ?t , n0.2 ? / 0.0001
15,000 ?t , n0.5 ? / 0.0001
150.000 ?t , n1.5 ? / 0.00001
氮化物/硅200 - 10,000 ?t0.02%
500 - 10,000 ?t , n0.05% / 0.0005
光致抗蝕劑/硅200 - 10,000 ?t0.02%
500 - 10,000 ?t , n0.05% / 0.0002
多晶硅 / 氧化物/硅200 - 10,000 ?t Poly , t Oxide        0.2 ? / 0.1 ?
500 - 10,000 ?t Poly , t Oxide0.2 ? / 0.0005





化工儀器網

采購商登錄
記住賬號    找回密碼
沒有賬號?免費注冊

提示

×

*您想獲取產品的資料:

以上可多選,勾選其他,可自行輸入要求

個人信息:

溫馨提示

該企業已關閉在線交流功能

主站蜘蛛池模板: 壶关县| 大同市| 资源县| 城口县| 平南县| 石楼县| 梅河口市| 平南县| 周至县| 苏尼特右旗| 志丹县| 礼泉县| 郎溪县| 宿迁市| 绥棱县| 乌拉特中旗| 桐庐县| 贺兰县| 平度市| 沐川县| 金阳县| 曲周县| 齐河县| 建德市| 临洮县| 蓬溪县| 竹山县| 宝清县| 澄江县| 洛宁县| 饶阳县| 台州市| 泰安市| 两当县| 金堂县| 邵东县| 辛集市| 寿光市| 邢台市| 瓦房店市| 称多县|