ALICAT 截止閥質量流量計控制器21VS系列

產品特色

● 數字化產品

● 帶氣動截止閥，泄漏率低

● 多參數顯示和輸出：溫度、壓力、流量等

● 多參數控制:體積流量、質量流量和壓力

● 可選高精度    優于0.5%

● 高量程比 100：1

● 響應時間快 僅需100 ms（可調）

● 內置128種常規以及腐蝕性氣體

● 可現場標定混合氣體（最多5種成分），并存儲20種混合氣

● 可適用于諸多腐蝕性氣體

技術指標

介質要求    潔凈、干燥的氣體，腐蝕和非腐蝕性均可

介質種類    內置了128種氣體，請參考“產品資料下載”中氣體兼容表一臺設備內置所有氣體，用戶可現場選擇

量       程    從0-0.5SCCM 到 0-20SLPM

量 程  比    100:1

最大顯示流量：102.4%FS

顯 示  屏    帶按鍵，標準為LCD顯示屏，可選TFT彩色顯示屏

顯示方式    同時顯示質量流量、體積流量、壓力、溫度

精       度    ± (0.8%RD+0.2%FS)，RD-讀數 FS-滿量程

                   高 精  度    ±(0.4%RD + 0.2%FS)，選配

                   僅適用于量程為5SCCM-500SLPM的設備

閥門泄漏率    不超過1x10 atm scc/sec (He)

重 復  性    ± 0.2% FS

零點漂移&滿量程漂移    0.02% FS / ℃ / Atm

響應時間    100ms 預熱時間：<1s

標定工況    25℃  & 100kPa 絕壓

                  20℃  & 100kPa 絕壓

                  0  ℃  & 100kPa 絕壓 (三種工況現場可切換)

工作溫度    -10 ～ +50 ?C

工作濕度    0-100%,無冷凝

標準最大工作壓力    1MPa 表壓

標準極限耐壓    1.2MPa 表壓

中壓選項    2MPa

數字輸入/輸出信號：RS232或RS485或Modbus或Profibus*

模擬輸入/輸出信號：0-5Vdc或1-5Vdc或0-10Vdc或4-20mA可選第二路模擬輸出：質量流量或體積流量或壓力或溫度

供電電壓    7-30 Vdc (如選4-20 mA輸出，須為15-30 Vdc)

供電電流    250mA ～ 750mA

電氣接口    8針Mini-DIN或DB9或DB15或6針工業接頭

材       質    316L不銹鋼、303不銹鋼, 430FRSS, FFKM (Kalrez)

可根據特殊氣體選用Viton, EPDM, Buna, Neoprene

安裝方式    對位置無要求

防護等級    IP40