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Regulus系列 超高分辨場發射掃描電子顯微鏡

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蘇州合儀精密電子科技有限公司坐落于蘇州工業園區,主營工業顯微鏡及制樣設備、高速攝像系統、工業內窺鏡、機器視覺等工業及科研應用的檢測設備及系統集成。合儀秉承“以光學為核心,為客戶提供解決方案”的經驗思路,經過多年的努力,成為眾多企業、高??蒲袉挝?提供各種專業化的光學系統解決方案。為客戶提供更優質、快捷的專業化服務。我們積極引進先進、檢測設備的同時導入制樣等配套設備以豐富我們實驗室平臺,以更好的為客戶提供現場體驗,從微米到納米滿足客戶從制樣到結果分析的一站式體驗服務。

半導體設備,光學顯微鏡,二手顯微鏡,光學解決方案

產地類別 進口 價格區間 面議
應用領域 化工,電子/電池

超高分辨場發射掃描電子顯微鏡"Regulus系列"繼承了現有機型的觀察和分析性能,配備SU8200系列的低噪音冷場發射電子槍*1,可以獲得高穩定的束流。

現有機型SU8240,SU8230,SU8220及SU8010重新整合,衍生而成Regulus8240、Regulus8230、Regulus8220、Regulus8100。

"Regulus系列"繼承了現有機型的觀察和分析性能,配備SU8200系列的低噪音冷場發射電子槍*1,可以獲得高穩定的束流。

通過優化電子光學系統,Regulus8240/8230/8220在1 kV條件下分辨率提高到0.7 nm,Regulus8100的分辨率提高到0.8 nm。

此外,為充分發揮超高分辨的能力,放大倍率也從過去的100萬倍提升到200萬倍*1。

Regulus8240/8230/8220/8100還完善了用戶支持功能,通過此功能用戶更容易理解各種復雜信號的檢測原理,幫助用戶充分發揮儀器的*佳性能。

(*1僅 限Regulus8240/8230/8220)

超高分辨場發射掃描電子顯微鏡特點:

◆沿用"SU8200系列"的冷場發射電子槍*2。

采用電子束在Flashing后出現的高亮度穩定區域作為穩定觀察的區間,使得低加速電壓條件下兼備高分辨觀察和分析的良好性能。

(Regulus8240/8230/8220: 0.7 nm/1 kV、Regulus8100: 0.8 nm/1 kV)。

采用污染小、高真空樣品倉。

運用能量過濾器(選配),可觀察到多種成分對比度*2。

技術參數:

項目Regulus 8100Regulus 8220Regulus 8230Regulus 8240
二次電子分辨率0.7 nm(加速電壓15 kV)
0.6 nm(加速電壓 15 kV)
0.8 nm(著陸電壓1 kV)*30.7 nm(著陸電壓 1 kV)*3
著陸電壓0.1~2 kV0.01~20 kV
放大倍率20~1,000,000倍*420~2,000,000倍*4
樣品臺樣品臺控制3軸馬達臺(可選5軸馬達臺)5軸馬達驅動
移動范圍X0~50 mm0~50 mm0~110 mm0~110 mm
Y0~50 mm0~50 mm0~110 mm0~80 mm
R360°
T-5~70°
Z1.5~30 mm1.5~40 mm
再現性---±0.5 µm以下含±0.5 µm

*3減速模式下觀察。

*4以127 mm × 95 mm底片為基準的倍率。




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