便捷的可用性：

納米級超高分辨率掃描電鏡簡單易學，減少了培訓所付出的努力和成本，甚至新用戶在幾分鐘內也能夠捕捉令人驚嘆的圖像。此用戶界面還支持，需要自動化工作流程，以執行可重復檢查任務的操作。

圖像質量：

納米級超高分辨率掃描電鏡EVO擅長于對未經處理和沒有導電涂層的樣品獲取高質量的數據。EVO還允許樣品保留其原始狀態， 維持含水和重污染樣品的數據質量。選用LaB6燈絲則能夠給予更好的分辨率、 對比度和信噪比。

智能導航與成像：

大大提高樣品的測試效率，以及更多的數據產出。

蔡司導航相機：

相機可以安裝在倉室前方，以監測樣品與背散射探測器以及物鏡底端之間的相對位置(倉室相機)；或安裝在真空室倉門上方 (導航相機)，利用俯視圖查看樣品臺上樣品的擺放位置。此視圖可用于設置從光學顯微鏡圖像中識別出的預定義位置， 并在整個樣品測試過程中導航。

自動化智能成像：

EVO實現了對樣品批量自動、無人值守的圖像采集。能夠自定義邊界區域，自動生成所需的視圖或放大倍數確定的感興趣區域，并開始自動獲取圖像。自動化智能成像將大大提高樣品的測試效率，以及更多的數據產出。

使用六硼化鑭電子發射器獲得圖像:

六硼化鑭陰極相較于傳統的鎢發夾燈絲所發射的電子能夠保證額外所需要的圖像質量。這種優勢體現在以下兩個方面:

1、在相等電子探針尺寸 (即分辨率) 下， 有更多探針電流可供使用， 從而使圖像導航和優化更容易。

2、在相等的探針電流 (信噪比) 下， 光斑直徑要小得多， 從而提高了圖像分辨率。

技術參數：

EVO 應用案例

生產與裝配企業：

納米級超高分辨率掃描電鏡在質量分析/質量控制；失效分析/金相分析；清潔度檢查；顆粒的形態和化學分析， 以滿足 ISO 16232 和 VDA 19 中1和2的標準；非金屬夾雜物的分析。

電子半導體：

目視檢查電子元件、集成電路、MEMS 器件和太陽能電池；銅絲表面及晶體結構的研究；金屬腐蝕研究
；斷面失效分析；Wire bonding線腳檢查；電容表面成像。

鋼鐵和其它金屬：

對金屬樣品和夾雜物的結構、化學和結晶學進行成像和分析；相、顆粒、焊縫和失效分析。

原材料：

納米級超高分辨率掃描電鏡?在地質樣品的形態、礦物學和成分分析；對金屬、斷裂和非金屬夾雜物的結構進行成像和分析；微粉化和造粒過程中原料化學成分和活性成份的形態和成分分析。

材料科學研究：

用于研究導電和不導電材料樣品的特征。

生命科學：

對植物、動物和微生物的研究。

司法鑒定：

槍擊殘留物（GSR）；油漆和玻璃分析；痕量分析；頭發和纖維比較；法醫毒理學。