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激光退火設備退火爐華卓精科 customized

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公司介紹 主營產品

深圳市矢量科學儀器有限公司是集半導體儀器裝備代理及技術服務的高新技術企業。

致力于提供半導體前道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導體分析測試設備、半導體光電測試儀表及相關儀器裝備維護、保養、售后技術支持及實驗室整體服務。

公司目前已授實用新型權利 29 項，軟件著作權 14 項，是創新型中小企業、科技型中小企業、規模以上工業企業。

展開

冷熱臺，快速退火爐，光刻機，納米壓印、磁控濺射，電子束蒸發

1. 產品概述

半導體激光退火機是用于半導體制造過程中的一種設備。退火是一種熱處理過程，通過加熱半導體材料來改變其性質，以實現所需的特性，如電導率、晶體結構和應力緩解。半導體激光退火機利用高能激光束來對半導體基片進行精確和控制的加熱和修改?？啥ㄖ疲缬行枨笳埪撓怠?/span>

2. 設備特點

應用范圍：對重摻雜碳化硅（SiC）表面沉積的過渡金屬進行退火，形成良好的歐姆接觸

加工尺寸：4inch、6inch

加工速度：1000mm/s

加工精度：±1μm平臺參數：行程300mm×300mm

重復定位精度：±0.001mm

激光器參數:紫外

稼動率:98%以上

重大故障間隙時間:＞1000H

良率:≥99.5%