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半導體參數(shù)分析儀RTM2-霍爾源測系統(tǒng)

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上海昊量光電設備有限公司  
Aunion Tech Co., Ltd
專業(yè)源自專注  專注成就未來

自2008年成立以來,昊量光電專注于光電領域的技術服務與產(chǎn)品經(jīng)銷,致力于引進guo外*先進性與創(chuàng)新性的光電技術與可靠產(chǎn)品,為國內(nèi)Z前沿的科研與工業(yè)領域提供優(yōu)質(zhì)的產(chǎn)品與服務,助力中國智造與中國創(chuàng)造! 目前,昊量光電已經(jīng)與來自美國、歐洲、日本的多家光電產(chǎn)品制造商建立了緊密的合作關系。其代理品牌均處于相關領域的發(fā)展前沿,產(chǎn)品包括各類激光器、光電調(diào)制器、光學測量設備、精密光學元件等,所涉足的領域涵蓋了材料加工、光通訊、生物醫(yī)療、科學研究與國防等。

昊量光電堅持“專業(yè)源自專注,專注成就未來”的經(jīng)營理念。近年來,我們專注于前沿的細分市場,為量子光學、生物顯微、物聯(lián)傳感、精密加工、先進激光制造等領域的客戶提供系統(tǒng)解決方案。

作為一家以技術溝通與技術服務見長的高科技企業(yè),我們所有的銷售與技術服務團隊成員都具有理工科方面的專業(yè)背景,并在公司接受相關領域的專業(yè)培訓,在售前技術溝通、售后產(chǎn)品安裝培訓、產(chǎn)品問題解決、軟硬件增值服務等方面為客戶提供更加專業(yè)化的服務!我們專業(yè)高效的商務與物流部門憑借多年積累的貿(mào)易經(jīng)驗與規(guī)范化的制度流程,保障每一筆訂貨準時安全到達目的地,免除客戶的后顧之憂!

秉承誠信、高效、創(chuàng)新、共贏的核心價值觀,昊量光電堅持以誠信為基石,憑借高效的運營機制和勇于創(chuàng)新的探索精神為我們的客戶與與合作伙伴不斷創(chuàng)造價值,實現(xiàn)各方共贏!

立足于光電產(chǎn)業(yè),昊量光電始終堅持價值創(chuàng)造與創(chuàng)新,贏得客戶與合作伙伴的認可,不斷拓展業(yè)務領域的新邊疆,立志打造的代理服務品牌!



激光器調(diào)制器,激光測量加工設備,光學部件,光譜儀,光纖器件,晶體,精密定位系統(tǒng)掃描系統(tǒng),探測器光子計數(shù)器,專用實驗設備,相機

產(chǎn)地類別 進口 應用領域 化工,綜合

半導體參數(shù)分析儀RTM2-霍爾源測系統(tǒng)



昊量光電全新推出的半導體參數(shù)分析儀RTM2-霍爾源測系統(tǒng)。利用半導體參數(shù)分析儀RTM2的集成開關矩陣實現(xiàn)無限的精度和穩(wěn)定性用于片狀、霍爾和電阻張量的測量。


半導體參數(shù)分析儀RTM2主要功能:

  1. 半導體參數(shù)分析儀RTM2專為自動精密測量電阻和相關量而設計。半導體參數(shù)分析儀RTM2直流交流測量與集成開關矩陣結(jié)合在一起。

  2. 半導體參數(shù)分析儀RTM2具有鎖定放大器的低噪、具有萬用表 8 位以上的動態(tài)范圍和穩(wěn)定性,可研究 ppb 級效應。nΩ研究變得簡單。

  3. 創(chuàng)新的連接器設計允許傳統(tǒng)的 BNC 操作與被動屏蔽或主動防護屏蔽。這將直流阻抗上限擴展到了 Tera-Ohm 范圍,并將交流帶寬提高了約兩個數(shù)量級,以測試MΩ器件

  4. 半導體參數(shù)分析儀RTM2只需一臺設備就能自動記錄完整的電阻張量(Rx、Ry、RH),即使是在無圖案的薄膜上。

  5. 半導體參數(shù)分析儀RTM2 可用于材料研究、薄膜表征以及傳感器、晶片和設備測試。在快速多路復用設置中進行交流測試的能力,可在現(xiàn)場生產(chǎn)過程中實現(xiàn)更嚴格的元件分選。




半導體參數(shù)分析儀RTM2開關矩陣的優(yōu)點:

  1. 萬用表或鎖相放大器等傳統(tǒng)精密設備依賴于與被測設備(DUT)靜態(tài)連接的四線電阻測量方法。這種方法不可避免地會受到來自被測設備和測量設備本身的各種干擾影響。

  2. 惠斯通電橋或平版印刷霍爾條圖案等測量安排可用于減少某些干擾的影響,但它們都依賴于實際電阻器或蝕刻圖案的精確和穩(wěn)定的對稱性,這在實踐中是無法實現(xiàn)的。

  3. 相比之下,矩陣開關可以在時域中分離干擾的影響。其中一個例子是van-der-Pauw范德堡方法,它可以精確區(qū)分縱向和橫向電阻,即使是在沒有光刻圖案的不規(guī)則形狀樣品上也是如此。

  4. 另一個例子是某些直流儀表采用的 "自動歸零(auto-zeroing)",以補償偏移漂移。但這還不夠。半導體參數(shù)分析儀RTM2的全矩陣切換功能及其與緊密多路交流測量的兼容性為我們帶來了無限可能。

  5. 可以對偏移和增益漂移進行補償,從而實現(xiàn)無限的穩(wěn)定性。這里的 "無限 "是字面意思:可實現(xiàn)的精度不是 7、8 或 10 位數(shù),而是您愿意等待的位數(shù)。在自己的實驗室里進入計量圈子吧!

  6. 還可以對整個儀器的復合非線性進行補償。這樣就可以測試亞ppm 級的 I-V 非線性,從而在較低和較溫和的電流密度下看到更高階的傳輸物理。



半導體參數(shù)分析儀RTM2突出亮點

  • 基于集成開關矩陣的可重構(gòu)設備架構(gòu)

  • 8 個用戶自定義端口(BNC 連接器),功能(輸入、輸出和/或參考)可自由確定

  • BNC 屏蔽可配置為無源接地或有源屏蔽

  • 使用固定連接(開爾文或霍爾幾何)進行傳統(tǒng)的交流和直流 4 線測量

  • 交替連接的交流和直流測量(電阻張量測量、范-德-波測量或電阻率測量)

  • 同時測量薄膜縱向和橫向電阻的精確絕對值,無需光刻圖案

  • 常用測量模式的軟件預設,可任何用戶特定的切換序列

  • 基于 TCP 的通信,可輕松集成到任何環(huán)境中(如 Labview、C、Python)


半導體參數(shù)分析儀RTM2主要的優(yōu)勢:

  • 可替代所有用于電氣特性測量的標準設備(例如鎖定放大器、SMU、DMM)

  • 通過集成的矩陣開關克服了靜態(tài) 4 點測量的局限性

  • 提供范-德-波測量和電阻張量測量的預設值,并允許用戶進行全面配置

  • 無需進行復雜的樣品制備(如平版印刷)。

  • 可輕松連接多種不同的測量裝置(如探針臺、低溫恒溫器、真空系統(tǒng)等)

  • 節(jié)省測量時間,提高樣品吞吐量


半導體參數(shù)分析儀RTM2主要的應用領域

材料研究與表征

  • 固體物理

  • 半導體物理

  • 磁性器件

  • 柔性電子器件

  • 自旋電子學

  • 新型功能電子材料和器件


工業(yè)研發(fā)和晶片/設備測試

  • 微電子設備

  • 存儲器

  • 晶體管、二極管

  • LED/OLED

  • 太陽能電池

  • 顯示器、TCO

  • 傳感器


半導體參數(shù)分析儀RTM2典型測試示例:

  • 在標準幾何結(jié)構(gòu)(開爾文和霍爾布局)中進行超低噪聲、高穩(wěn)定性交流和直流 4 線測量

  • 對不規(guī)則、無結(jié)構(gòu)薄膜樣品進行范德保開關連接 4 線測量

  • 基礎物理學和計量學中的亞ppm 相對變化和非線性測量

  • 零偏移霍爾 4 線測量(即使是非結(jié)構(gòu)化樣品,也能準確分離縱向電阻和橫向電阻)

  • 比率電阻測量,消除樣品和設備漂移

  • 高驅(qū)動諧波失真測量

  • 脈沖和測量例程


半導體參數(shù)分析儀RTM2規(guī)格參數(shù):



更多詳情請聯(lián)系昊量光電/歡迎直接聯(lián)系昊量光電

關于昊量光電:

上海昊量光電設備有限公司是光電產(chǎn)品專 業(yè)代理商,產(chǎn)品包括各類激光器、光電調(diào)制器、光學測量設備、光學元件等,涉及應用涵蓋了材料加工、光通訊、生物醫(yī)療、科學研究、國  防、量 子光學、生物顯微、物聯(lián)傳感、激光制造等;可為客戶提 供完 整的設備安裝,培訓,硬件開發(fā),軟件開發(fā),系統(tǒng)集成等服務。



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