:CL 7500
- 公司名稱 深圳市科時達電子科技有限公司
- 品牌
- 型號
- 產地
- 廠商性質 經銷商
- 更新時間 2023/9/16 15:14:50
- 訪問次數 188
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本公司主要從事半導體進口設備及輔助材料、醫療檢測設備等多領域的銷售,是一家集研發、制造、銷售為一體的企業。我們的主營業務涉及了研發銷售及加工材料及周邊產品;電子光電產品設備研發組裝及銷售,半導體儀器設備銷售;國內貿易、貨物及技術進出口;醫療器械研發及銷售;醫用耗材及醫療用品的銷售等
:CL 7500
CL 7500系列技術參數:
激光介質 | ArF | KrF |
波長 (nm) | 193 | 248 |
脈沖能量 (mJ) | 100 | 250 |
重復率頻率(Hz) | ||
CL7520 | 20 | |
CL7550 | 50 | |
大平均功率 (W) | ||
CL7520 | 2 | 5 |
CL7550 | 5 | 12.5 |
沖能量穩定性(sigma, %) | < 2 | |
光斑尺寸 (VхH, mm) | 20 х 6 | |
光束發散角(FWHM, mrad, VхH) | < 0.2 х 0.2 | |
脈沖持續時間 (FWHM, ns) | 20 | |
線寬(pm) | < 3 | |
空間相干性(mm) | > 5 | |
時間相干性(mm) | > 10 | |
冷卻方式 | 水冷 | |
重量(kg) 沒有光學表 | 450 | |
尺寸 (LхWхH, mm) | 2000 х 800 х 750 | |
電源 | 220/380 V, 50 Hz, < 7000 VA |
CL 7500主要特點:
MOPA激光系統(主振蕩器功率放大器)
由兩個激光器CL7020或CL7050基于單光平臺組成
相關圖片:
應用:
布拉格光柵
激光誘導熒光技術