MEB-600/800 熱阻/電子束蒸發鍍膜機設備
具體成交價以合同協議為準
- 公司名稱 北京中科復華科技有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號 MEB-600/800
- 產地 北京
- 廠商性質 代理商
- 更新時間 2024/4/7 9:50:58
- 訪問次數 411
產品標簽
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應用方向：科研與教學
產品優勢：多功能，電子槍+熱阻蒸發，膜厚監控
產品配置：
★樣片數量及尺寸： 1片Φ8英寸或5片Φ4英寸或傘形工件架（用戶定制）
★蒸發材料：金屬；非金屬；化合物等薄膜材料。
★蒸發腔體：高真空系統。
★蒸發不均勻性：≤±3%-±5％
★工件架：可旋轉，轉速可調
★加熱：常規加熱
★電子槍：E型，帶XY偏轉掃描
★電子槍坩堝：6穴，17cc
★膜厚監控功能：石英晶控膜厚在線監測與終點控制
★清洗功能：可選配離子源清洗
★器件一次成型復合實驗系統：通過復合mask系統與樣品對準系統，一次完成器件的多個工藝步驟
★檢測與控制光學特性功能：可選配光控儀
★操作模式：全自動+半自動控制
類似產品： 大樣片蒸發鍍膜（MEB-800）
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