日本Anelva離子計熱陰極電離真空計測量壓力 M-311HG 特點介紹

這是傳感器真空計系列的離子計。離子計（熱陰極電離真空計）具有優異的重復性和線性度，可以在較寬的范圍內測量壓力，使其成為優秀的真空計。

該傳感器采用經過驗證的微型儀表（MG-2I 型）。

10 -7 Pa 至 10 Pa 的寬壓力測量范圍，使得可以在不犧牲超高真空性能的情況下測量濺射工藝以外的低真空區域。

高響應模擬輸出

壓力值的模擬信號輸出確保100毫秒內的高響應性，也可用于過程壓力控制。

可根據應用選擇四種發射電流設置模式

，例如在高壓區域使用時提高燈絲壽命

日本Anelva離子計熱陰極電離真空計測量壓力 M-311HG 規格參數

型號名稱離子計

M-311HG-SP M-311HG-RS

壓力測量范圍1×10 -7 ~ 10 Pa 

輸入電壓直流20~28V 

能量消耗12W 

模擬輸出0-10V - 

設定點2點繼電器輸出 

界面-  RS485 

輸入/輸出連接器 Dsub-9（男） 

最大電纜長度 200米（1平方毫米） 

工作溫度限制 5～50℃ 

儲存溫度范圍 -20至70℃ 

傳感器型號名稱微型BA規（MG-2I系列） 

傳感器材料（主要部分）燈絲：Y 2 O 3 /Ir，外殼：SUS304 

外形尺寸（毫米）110×70×50