日本Anelva皮拉尼真空計耐腐蝕性半導體設備 M-351PG 特點介紹

該型號使用Ni絲來提高耐腐蝕性，并與RIE和CVD等硬工藝設備兼容。

半導體、電子器件制造設備、

干式蝕刻設備、等離子體CVD設備、LD-CVD設備等

食品藥品制造設備

真空冷凍干燥、真空蒸餾設備、滅菌設備等。

日本Anelva皮拉尼真空計耐腐蝕性半導體設備 M-351PG 規格參數

型號名稱M-351PG-SP

（鎳絲規格）（帶設定點型） 

測量壓力范圍5×10 -2 ～ 1×10 5 (Pa) 

精度（帕）±50%：5×10 -2 　～ 1×10 -1

±15%：1×10 -1 　～ 1×10 4

±50%：1×10 4 　～ 1×10 5 

再現性±2%：1×10 -1 　～ 1×10 4 Pa 

輸入電壓直流+14～30V 

能量消耗2W 

模擬輸出0-10V 

表計識別電阻值13 KΩ（D-sub 引腳 5 和 9 之間） 

設定點2 個接點輸出（1 A 30 V，DC） 

界面- 

輸入/輸出連接器D-sub9針 

最大電纜長度兼容200 m (0.34 mm 2 ) *1 

工作溫度限制5～60℃ 

儲存溫度范圍-20 至 70°C（非工作） 

烘烤溫度＜+150 ℃（O型圈規格，僅測頭）

＜＋300 ℃（金屬密封規格，僅測頭） 

允許過載壓力1 MPa（僅限于接頭形狀NPT、僅限于惰性氣體、絕壓） 

兼容的皮拉尼傳感器型號名稱MP-2